JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书.docVIP

目 錄 1.目的 2 2.範圍 2 3.權責 2 4.參考資料 2 5.儀器介紹 2 6.操作程序 4 7.注意事項 9 . 1.目的 本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。 2.範圍 HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。 3.權責 3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。 3.2本工作指導書供相關操作人員參考。 4.參考資料 捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。 5.儀器介紹  5.1 External view of JSM-6700F 5.2 General view of column 6.操作程序 6.1 開啟SEM OPE switch 6.2 打開SEM電腦主機螢幕 6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面) 6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值： a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kg b.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外 c.確認tilt位置在0 d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mm e.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00 (Soft:stage/exchange—選擇h