04第四章电容式传感器.doc

电容式传感器 电容式传感器由各种类型的电容器作为传感元件。 电容式传感器功率小、阻抗高、电容一般为数量级。 电容式传感器固有频率高、动态特性好。 电容式传感器发热小，稳定。 电容式传感器可进行非接触测量。 电容式传感器的工作原理和结构形式 电容式传感器的工作原理 电容式传感器由各种类型的电容器作为传感元件。通过电容传感元件，将被测物理量的变化转换成为电容的变化。 电容器的电容由三个参数决定，以平板电容器为例，这三个参数是，平板电容器的极板面积、两平板之间的距离和平板之间的介质特性。 电容器的三个参数之一，就可以改变电容器的电容。 改变的称为变间隙式，。 改变的称为变面积式，改变角度来实现。 改变的称为变介电常数式。常用作湿度和密度测量 P90图5-2为各种类型的电容传感器 变间隙式电容式传感器：a、b 变面积式电容式传感器：c、d、e、f 变介电常数式电容式传感器：g、h 线位移：a、b 角位移：f 差动式：b、d、f 空气介质变间隙电容式传感器 空气介质变间隙电容式传感器结构： 空气介质变间隙电容式传感器的灵敏度： 空气介质变间隙电容式传感器的非线性误差： 减小可以提高灵敏度，减小非线性误差，但电容器容易击穿，工艺要求高。 差动空气介质变间隙电容式传感器 差动空气介质变间隙电容式传感器结构： 差动工作方式： 差动空气介质变间隙电容式传感器的灵敏度： 差动空气介质变间隙电容式传感器的非线性误差： 差动空气介质变间隙电容式传感器提高了灵敏度，减小了非线性误差，还可以减小静电引力给测量带来的影响，并可以有效地改善温度引起的测量误差。 固定介质变间隙电容式传感器 固定介质变间隙电容式传感器结构： 固定介质变间隙电容式传感器的灵敏度： ， 灵敏度因子： 固定介质变间隙电容式传感器的非线性误差： 介电常数提高，可以提高灵敏度因子，这时灵敏度得到提高，但非线性误差也增加了，为了减小非线性误差，也可以采用差动方式。 变面积电容式传感器 变面积电容式传感器结构： 变面积电容式传感器的灵敏度： 变面积电容式传感器的非线性误差： 变面积电容式传感器无非线性误差，增加，减小可以提高灵敏度，不能太小，否则边缘效应明显。 变介电常数电容式传感器 变介电常数电容式传感器结构： 变介电常数电容式传感器的灵敏度： 灵敏度因子： 变介电常数电容式传感器的非线性误差： 非线性因子： 电容器的边缘、电感、电阻效应 电容器的边缘效应和加保护环减小电容器边缘效应： 电容器的电感和电阻效应和等效电路 引线电阻，高频下起作用。 漏电电阻，低频下起作用。 引线电感产生谐振频率： ，一般要求 引线电感影响等效电容： 等效电容变化： 电容式传感器的信号调节电路 运算放大器式电路 电路： 为变间隙电容时： ，线性关系 ，常数 电桥电路 电路： 为差动变间隙电容时： ， 调频电路 直放式调频 外差式调频 外差式调频比直放式调频性能优越，其选择性高、特性稳定、抗干扰性强。 调频方式具有抗干扰性强、特性稳定、输出电平高（伏特级） 谐振电路 电路 变化，变化。 特点： 灵敏度高 工作点难以确定 工作范围窄 传感器要离电路近。 振荡器要求稳定性高。 二极管T型网络 电路 当时： 充电，； 放电， 当时： 充电，； 放电， 放电和放电形成电流正和负，的平均值为两者之差。 平衡时： 平衡时： 特点： 、、、有共同的地 工作电平高，都工作于线性区 输出电压高 输出电流大，时，数量级 上升时间小，时，数量级。适合高速测量。 脉冲宽度调制电路 电路 初值： 加电时假设：， ，这时充电，不断提高，不充电，不变。 不断提高的时，S触发使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。 不断提高的时，R置位使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。 电压波形： 输出电压脉冲宽度与和充电时间常数有关，从而使得输出电压的平均值与和的大小有关。设 变极板距离电容时： 对于差动电容：，， 变面积电容时： 对于差动电容：，， 脉冲宽度调制电路特点 对元件无线性要求，无论变极板距离还是变极板面积输其变化量与输出都成线性关系。 效率高，信号只要经过低通滤波器就有较大的直流输出。 调宽频率的变化对输出无影响。 由于低通滤波器的作用，对输出矩形波纯度要求不高。 影响电容式传感器精度的因素及提高精度的措施 影响精度的因素 温度对电容结构尺寸的影响，将引起电容值的变化。 温度对电容的电介质的影响，将引起电容值的变化。 电容式传感的电容很小，容抗大，电容漏电流有较大的分流作用，将引起电容式传感灵敏度的下降。 电容边缘效应和寄生参数将引起电容式传感的非线性效应，并且使灵敏度下降。 提高精度的措施 选用温度系数小和稳定的材料和电介质，以消除温度的影响。 增加原始电容值，以