纯水系统简介王亮.pptxVIP

纯水系统学习心得 ------ 2013.4.15 厂务水处理 王亮 系 统 的 认 识 目 前 的 缺 失 节 能 想 法 工艺 机台 作用 刻蚀 酸洗机台 酸槽清洗 有机清洗机台 清洗去蜡 撕金机台 撕金后清洗 ITO/BOE酸洗机台 酸洗后请洗 有机部件清洗机台 部件清洗 酸洗部件清洗机台 酸洗后清洗 photo 显影机 显影后清洗 backend 研磨 研磨用水 系统的系统的认识 芯片中纯水用水点 水质/水量指标 类别 水量 pH 电阻率 TOC SiO2 压力 温度 超纯水 85m3/h ≥18MΩ·cm ≤50ppb ≤50ppb 3.8±0.5Kg/cm2 22±1℃ 软化水 PCW/锅炉用水 ≥18m3/h 7.5～8.5 17us/cm - - 2.5-3.0kg/cm2 22±2℃ 系统的系统的认识 原水箱 NO.1热板换 多介质过滤器 活性碳过滤 中间水箱 NO.1 RO OR浓水箱 NO.2 RO 一级RO水箱 保安过滤器 二级RO水箱 EDI 紫外杀菌 脱气膜 精密过滤器 终端过滤器 TOC脱除器 N2封水箱 抛光混床 使用点 软水 软水使用点 絮凝剂 杀菌剂 还原剂 阻垢剂 NO.2冷板换 反洗 反洗 回水 浓水回水 系统的系统的认识 用来保证系统的进水温度，从而提高反渗透系统产水量及保证系统水质的稳定。 一号板式换热器设置在一级反渗透前，温度较低时使用，以便控制反渗透进水温度在比较合适的范围内（25℃±2℃），天气温度升高时，换热器可以停止使用。 二号板式换热器设置在抛光混床前，温度较高时使用，以便控制抛光混床进水温度在比较合适的范围内（22℃±2℃），天气温度降低时，换热器可以停止使用。 系统的系统的认识 7 尺寸：3000*1800mm 材料：碳钢衬胶 填料：无烟煤、石英砂 水由压力驱动，经过过滤层。 多介质过滤器的主要作用是截留大颗粒、悬浮物以及经过絮凝过后的胶体物质 多介质过滤器的一般截留精度是10~100um，主要祛除一些粗分散系的水中杂质。 目前多介质过滤器每累计运行满24小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后 多介质过滤器 系统的系统的认识 8 填料： 多介质过滤器 系统的系统的认识 石英砂 0.5～32mm 石英砂，1000mm 15.6 吨 无烟煤 0.8～1.2mm 无烟煤，200mm 2 吨 活性炭过滤器： 活性炭 0.6～1.2mm 活性炭，1000mm 4 吨 石英砂 0.5～32mm 石英砂，200mm 3.5 吨 1.在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中 无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解 2.吸附从前级泄漏过来的小分子有机物等污染性物质， 3.对水中异味、胶体及色素、重金属离子等有较明显的吸附去除作用。 4.可以进一步降低RO进水的SDI值，保证SDI5。 目前活性炭过滤器每累计运行满36小时反洗一次，反洗耗水量70吨左后 上周SDI检测结果：35T 1.4 50T 1.3 　 活性炭过滤器 系统的系统的认识 过滤器 系统的系统的认识 保安过滤器、精密过滤器、终端过滤器、清洗过滤器（以一期为例） 名称：保安过滤器 型号：HTY-45-1000 材质：不锈钢 滤芯数量：45支 滤芯精度：5u-40″ 数量：1台 品牌：恒通源 名称：精密过滤器 型号：HTY-18-1000 材质：不锈钢 滤芯数量：18支 滤芯精度：0.45u-40″ 数量：1台 品牌：恒通源 名称：终端过滤器 型号：HTY-25-1000 材质：不锈钢316 滤芯数量：25支 滤芯精度：0.1u-40″ 数量：1台 品牌：恒通源 名称：清洗过滤器 型号：HTY-36-1000 材质：不锈钢316 滤芯数量：36支 滤芯精度：5u-40″ 数量：1台 品牌：恒通源 系统设备介绍 反渗透 一期 一级数量： 14组/70支膜 排列方式：9/5式 二级数量：7组/35支膜 排列方式：5/2式 二期 一级数量： 15组/75支膜 排列方式：10/5式 二级数量：9组/45支膜 排列方式：6/3式 RO品牌：海德能 PROC10 400ft2 反渗透：RO（Reverse Osmosis）反渗透技术是利用压力表差为动力的膜分离过滤技术,. RO去除水中的盐，TOC，微粒和微生物RO反渗