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重复频率脉冲功率技术及其应用研究刘克富 复旦大学电光源研究所 高功率电子学研究室 主要内容 一、研究领域和方向 二、固态开关重复频率脉冲功率源 三、脉冲功率源放电应用研究 一、研究领域和方向 　重复频率脉冲功率技术 重复频率脉冲功率及其应用 高功率激光（国防） 高功率微波（国防） 超宽带雷达（国防） 加速器（国防、科学、工业、医学） 大面积非平衡等离子体产生 等离子体材料改性、刻蚀 脱硫脱硝（环保） 脉冲放电除尘（环保） 高效臭氧产生（环保） 污水处理（环保） 甲醇合成（能源） 食品处理（农业） 电磁生物效应（医疗卫生） 超强紫外光源及节能光源（工业） 燃烧点火、高效燃烧（能源） 固态重复频率功率源优势 固态开关目前存在的问题 气体开关的Marx发生器工作原理 二、固态重复频率功率源 固态开关 磁开关 大功率重复频率脉冲功率技术有重要应用 固态开关获得高压的常规方法 方法一：开关直接串联 开关直接串联存在的问题 方法二：变压器升压 变压器升压存在的问题 固态开关脉冲功率源研究 1、固态Marx发生器 固态Marx发生器具有过电压自保护功能 固态Marx发生器多种拓扑结构 固态Marx 发生器带电感负载 电容器选择 固态Marx发生器优势 不需要高压充电电源，仅在放电时电压叠加，输出高压； 固态开关不会面临直接串连时的过压问题，可靠性高； 可输出近似方波脉冲，上升沿由开关器件开通时间决定； 模块化设计，结构紧凑，易于维护； 脉冲电压、频率、脉宽方便可调； 采用固态器件，重复频率高，使用寿命长 开关串联时回路具有自动均压功能 固态开关模块 目前技术参数 准方波电压：2k~60kV （可调） 峰值电流：200A, 平均电流：40A 负载最大平均功率：30kW 频率：0~500Hz （可调） 脉宽：2μs～100μs （可调） 上升沿： ~ 0.5μs 下降沿：~1μs （与负载特性密切相关） 可以向更高参数发展 不同电压峰值输出 短路状态快速可靠保护 2、脉冲电压叠加器 充电阶段 放电阶段 驱动电路 脉冲电压叠加器特点 3、固态开关＋传输器变压器 传输器变压器 Lewis对这种变换器电路进行分析之后，给出增益G，即 式中， ZP是对地寄生耦合阻抗，可看做一个传输线。 假设ZP无限大，开路电压是2nU0，终端匹配负载将获得nU0的电压。 传输器变压器电路 传输器变压器结构 输出波形 技术参数： 频率：10kHz， 电压：10～30kV, 脉宽：~100ns， 电流：～1kA 传输器变压器特点 三、脉冲功率源放电应用 应用1： 用于等离子体离子注入（PIII) 等离子体离子注入原理图 应用2：脉冲等离子体气体放电 大气压下均匀等离子体放电 应用3、快脉冲等离子体水中放电 频率：20Hz， 电压：150kV, 电流：3kA, 脉宽：1～2?s， 研究团队 Thank you！ 不同脉宽输出 500Hz 重复频率输出 小型化固态Marx发生器 输出电压：30kV 频率：2000Hz 脉宽：1～2μs 上升沿：300ns 开关导通时，所有充电电容器电压叠加 当一路开关故障时，其支路被二极管旁路保护 实验装置 Magnetic Core for Charging Magnetic core for isolated trigger IGBT Switch Output Pulse: 20kHz / 20kV 可运行在高频状态（100kHz） 1 故障自保护能力 2 高、低压隔离简单 3 充电同时可放电 4 脉冲功率源系统效率高 5 Jian Qiu, Kefu Liu, A Pulsed power supply based on Power semiconductor switches and transmission Line transformer , IEEE Transaction on Dielectrics and Electrical Insulation, Vol. 14, No.4, August 2007 1 传输线变压器的体积小 3 每段传输线间耦合增大导致输出增益减小 2 输出脉冲的频率较高 应用1 应用2 应用3 应用4 等离子体 离子注入 脉冲等离子体放电用于污水、废气处理 大气压下 均匀等离子体 放电 高功率微波源 触发器 4cm Gasinlet Meshcathode mesh anode ＋ 丝－筒放电结构 ＋ Tap water 针－ 板放电结构 针－环电极放电结构 灭 菌 效 应 应用4：高功率微波快脉冲触发器 * Logo *