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第1章传感技术概论深
* 传感器讲义(中国地质大学) page * 3.采用微细加工技术 半导体技术中的加工方法如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐蚀以及蒸镀、溅射薄膜工艺都可引进用于传感器制造,因而制造出各式各样新型传感器。例如,利用半导体技术制造出压阻式传感器,利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器,日本横河公司利用各向异性腐蚀技术进行高精三维加工,在硅片上构成孔、沟、棱、锥、半球等各种形状,制作出全硅谐振式压力传感器。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 4 研究多功能集成传感器 日本丰田研究所开发出同时检测Na+、K+和H+等多离子传感器。这种传感器的芯片尺寸为2.5mm×o.5mm,仅用一滴液体,如一淌血液即可同时快速检测出其中Na+、K+和H+的浓度,对医院监床非常适用与方便。 我国某传感器研究所研制的硅压阻式复合传感器可以同时测量压力与温度。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 智能传感器是一种带微处理器的传感器,它兼有检测、判断和信息处理功能。其典型产品如美国图尼尔公司的ST一3000型智能传感器,其芯片尺寸为3×4×2mm3,采用半导体工艺,在同一芯片上制作CPU、EPROM和静压、压差、温度等三种敏感元件。 5 智能化传感器 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 6.新一代航天传感器研究 众所周知,在航天器的各大系统中,传感器对各种信息参数的检测,保证了航天器按预定程序正常工作,起着极为重要的作用。随着航天技术的发展,航天器上需要的传感器越来越多,例如,航天飞机上安装3500支左右传感器,对其指标性能都有严格要求,如小型化、低功耗、高精度、高可靠性等都有具体指标。为了满足这些要求,必须采用新原理、新技术研制出新型的航天传感器。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 7.仿生传感器研究 值得注意的一个发展动向是仿生传感器的研究,应该给予高度重视,特别是在机器人技术向智能化高级机器人发展的今天。仿生传感器就是模仿人的感觉器官的传感器,即视觉传感器、听觉传感器、嗅觉传感器、味觉传感器、触觉传感器等。目前只有视觉与触觉传感器解决的比较好,其它几种远不能满足机器人发展的需要。也可以说,至今真正能代替人的感觉器官功能的传感器极少,需要加速研究,否则将会影响机器人技术的发展。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 1.5 传感器的数学模型及一般特性 从系统角度来看.一种传感器就是一种系统。根据系统工程学理论,一个系统总可以用一个数学方程式或函数来描述。即用某种方程式或函数表征传感器的输出和输入间的关系和特性,从而、用这种关系指导对传感器的设计、制造、校正和使用。通常从传感器的静态输入--输出关系和动态输入—输出关系两方面建立数学模型,但是准确地建立一个系统的数学模型是困难的。在工程上,总是采用一些近似方法建立起系统的初步模型,然后.经过反复模拟试验确立系统的最终数学模型,这种方法同样适用传感器数学模型的建立。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 一、传感器的静态数学模型: 静态模型是指在静态信号(输入信号不随时间变化的量)情况下,描述传感器输出与输入量间的一种函数关系。如果不考虑蠕动效应和迟滞特性,传感器的静态模型一般可用多项式来表示: 其中:x ——输入量; y——输出量; ——为零位输出; 为传感器线性灵敏度,常用K或S表示; … 为非线性项的待定系数。 (1-1) * 传感器讲义(中国地质大学) page * 传感器的静态模型有三种有用的特殊形式: (1-2) (1-3) (1-4) 式(1—1)表示传感器的输出和输入量呈严格的线性关系,式(1—3)和(1—4)均为非线性关系。 * 传感器讲义(中国地质大学) page * ??一、 传感器的一般特性 1、静态特性与动态特性定义 从输入信号不随时间变化或变化极其缓慢的角度考虑的传感器特性称为传感器静态特性。 信号 时间 静态信号 动态信号 从输入信号随时间变化较大的角度考虑的传感器特性称为传感器动态特性。 0 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 2、传感器静态特性 (1)传感器线性度 输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离直线的程度称为线性度。一般用非线性误差表示可用下式表示 输出量Y 输入量X 0 * 传感器讲义(中国地质大学) page * 输出量Y 曲线a存在零点误差,但并不存在非线性误差。这是传感器经常遇到的问题,比如我们在以后章节要学习的霍尔传感器就存在零点误差,我们可以在调理电路中把零点误差处理掉。 曲
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