李本成-改良西门子法制备多晶硅中的能耗和环境保护问题.pptVIP

* ? Canadian Solar Inc. – Proprietary and Confidential  改良西门子法制备多晶硅中的能耗和环境保护问题 李 本 成 2008－6－6 一、序 二、多晶硅制备的特点 三、建设多晶硅项目要注意的几个问题 1、工艺选择和产品方案 2、建设周期和投资估算 3、综合利用和环境保护 4、热平衡和料平衡 5、闭路循环工艺 四、多晶硅制备中的能耗和环保问题 五、几点个人看法 目 录 一、序 近一段时间来，社会和业界对多晶硅颇为关注，使得原本鲜为人知的一个产品成了一个公众话题。个人认为，其原因有二： 一是由于光伏产业的飞速发展带来的对多晶硅产品的过度风抢，使得它的市场价格严重背离其价值。一些多晶硅制造商一夜之间成了令人侧目的暴发户，诱人的利润空间引来不少投资商不惜投入巨资建立多晶硅生产厂。新建项目之多、投入资金之巨、建设规模之大，这在中国是空前的，在全球也是罕见的。 二是多晶硅制备中的能耗和污染问题，颇多微辞。更有甚者认为是消耗中国的能源为别国生产清洁能源；把污染留在国内，把清洁能源卖给别人。 本人想利用这个机会就“多晶硅的能耗和污染”谈几点意见。 二、多晶硅制备的特点 1、多晶硅的制备工艺过程是元素硅的提纯过程，它是将2个“9”的工业硅提纯到7～11个“9”的高纯硅工艺过程； 2、硅的提纯方法是将元素硅转化成易于制得、易于提纯、易于还原的化合物（如SiHCl3、SiCl4、SiH4等），工艺中以提纯硅的化合物为提纯元素硅的主要手段； 3、多晶硅的制备基本上是一个化工过程，主要的化工工艺有：硅的化合物的合成、硅的各类化合物的分离、硅化合物的提纯、氢还原硅化合物的汽固相沉积多晶硅等； 4、多晶硅制备是一个耗能较高的产业，平均每吨多晶硅的电耗在20万kwh以上； 5、多晶硅制备工艺是集化工、气体净化、电气控制、理化分析等工序复杂而有机集成的过程，它需要各类专业人才密切合作才能取得成功； 6、多晶硅制备是资金密集、技术密集、人才密集的“三密”产业，平均而言，每吨多晶硅的投资高达70～100万元RMB； 7、一个现代化的多晶硅厂的建设需要24～28个月，所使用的设备大多是非标准设备，设计、加工、安装、调试等所需的时间较长； 8、多晶硅制备是将元素硅提纯到很高纯度的过程，这个生产系统的任何泄漏、微量沾污、引入系统的原料、试剂、保护气氛等都会对产品质量产生重大影响。严格控制、有效管理生产系统的各种设备、管道、阀门、接头等的清洗、干燥和安装是制得合格的优质产品的关键之一。 三、建设多晶硅项目要注意的几个问题 1、工艺选择和产品方案 ◆全球多晶硅的工业化生产始于上世纪五十年代末、六十年代初，经过半个世纪的探索，发展至今基本形成了两种主要工艺： 一是SiHCl3氢还原法（亦称西门子法） 二是SiH4热分解法。 目前，全球用西门子法生产的多晶硅约占总产量的77％，使用此法的知名公司有美国的Hemlok、德国的Waker以及日本的几家公司。而用硅烷热分解法生产多晶硅的只有REC的Asimi公司和MEMC公司的Pasadena工厂，前者是生产棒状多晶硅，后者是生产粒状多晶硅，他们的产量约占全球总量的23％左右。 ◆上述两种工艺的比较 上世纪九十年代美国的硅业界同仁对采用SiH4、SiH2Cl2、 SiHCl3、SiCl4等四种原料生产多晶硅的方法，从12个方面进行过评价、打分，其结果是： 三、建设多晶硅项目要注意的几个问题 比较的项目 SiH4 SiH2Cl2 SiHCl3 SiCl4 1、原料提纯 8 8 7 10 2、原料制造成本 4 6 7 7 3、原料的安全性 4 3 9 10 4、原料可选择来源 0 0 10 10 5、原料的运输 2 2 8 9 6、原料的储存 4 2 9 9 7、副产品的回收 2 3 9 10 8、副产品的再利用 5 5 8 9 9、沉积速率 3 5 7 4 10、对建筑物的要求 5 5 9 10 11、对反应炉的选择 6 3 9 9 12、电能的用量 6 5 4 1 总评分 49 47 96 98 1、工艺选择及产品方案 ★工艺选择宜选用改良西门子法，其理由是： ▽ 改良西门子法生产多晶硅已是很成熟的工艺，安全性相对较高，产品纯度基本能满足微电子工业需要； ▽全球近八成的多晶硅都是采用改良西门子法生产的； ▽全球新建多晶硅项目也都选择西门子法； ▽我国的在建