TCO玻璃类型及特征.pptVIP

让不可能成为可能 Making the IMPOSSIBLE possible 报告题目 报告人 时间 目录 实验背景 实验内容 结果讨论 实验总结 分标题 背景 透明导电薄膜具有透明和导电双重功能，其种类主要有：金属膜、氧化物(Transparent Conductive Oxide简称TCO)膜、多层复合膜和高分子膜等，其中氧化物TCO薄膜占主导地位。作为光电子科技领域的主要光学材料之一，透明导电薄膜已经广泛应用于太阳能电池透明电极、等离子体液晶显示器PLCD、气敏元件、抗静电涂层、飞机和汽车风挡防霜雾玻璃、建筑用节能玻璃窗和电致变色器件等领域。 1907年，Bakdeker第一次报道并制备了Cd0透明导电薄膜；1950年前后出现了硬度高、化学稳定性好的Sn02基薄膜以及综合光电性能优良的In20。基薄膜，并开发出了有商业应用价值的sn02透明导电膜NESA；20世纪80年代，ZnO基薄膜成为研究热点。以上均为重掺杂、高简并的n型半导体，近年来P型半导体透明导电薄膜的研究也取得了进展。 透明导电氧化物薄膜一般为多晶膜，主要包括In、Sb、Zn和CA的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料，具有禁带宽、电阻率低、可见光范围光透射率高和红外光谱区光反射率高等共同光电特性。 透明导电氧化物均为重掺杂、高简并半导体，半导化机理为化学计量比偏移和掺杂，其禁带宽度一般大于3eV，并随组分不同而变化。它们的光电性质依赖于金属的氧化状态以及掺杂剂的特性与数量，一般具有高载流子浓度(1018～1021 )，但迁移率不高，电阻率达 量级，可见光透射率为80％～90％。 透明导电氧化物薄膜的基本特性之一是良好的导电性。其导电性能主要是通过氧缺位和掺杂来提高。其中，氧缺位可以由化学计量偏离、改变生长和退火条件来实现；适当的掺杂不仅可以提高薄膜的电导率，还可以提高薄膜的稳定性。 透明导电氧化物薄膜的另一重要基本特性是对可见光的高透射率。透明导电薄膜一般具有大于可见光子能量(3.1eV)的光学禁带宽度，在可见光照射下不能引起本征激发，所以它对可见光透明，而且其光学带隙与载流子浓度密切相关。其实，透明导电薄膜对光线还具有选择性。人们发现：透明导电薄膜对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率70％。此外，透明导电薄膜的光电导会随表面吸附的气体种类和浓度不同而发生很大变化，它还具有对微波的衰减作用。 TCO的类型及特征 迄今为止，已发现的透明导电薄膜多数为n型半导体，主要有 、 和ZnO基三大体系及其组合而成的多元体系，但近年来也合成了不少具有P型导电特性的TCO材料。 FTO(SnO2︰F)：电阻率可达5.0×10-4Ω?cm，可见光透过率＞80%。 ITO(In2O3︰Sn)：电阻率可达7.0×10-5Ω?cm ，可见光透过率＞85% 。 ZAO(ZnO︰Al)：电阻率可达1.5×10-4Ω?cm ，可见光透过率＞80% 。 基TCO薄膜 基TCO薄膜通常采用对纯 掺入氟、锑、磷、砷、碲、氯等元素而得到，为金刚石结构。其中，掺锑的SnOz薄膜(ATO)和掺氟的 薄膜(FTO)的光电性能更好，研究也更深入，特别是FT0性能更加突出。Ma．Honglei等采用APCVD法制备的FTO薄膜的电阻率可达 ，在可见光区的透射率大于90％。采用喷射热分解法制得了电阻率为 ，可见光区透射率达80％以上的ATO薄膜。FTO薄膜由于热稳定性和化学稳定性好、硬度高、原材料价格低廉和生产成本低等特点，在节能窗等建筑用大面积TCO)薄膜应用中，具有很强的优势。 基TCO薄膜 基TCO薄膜中最有代表性的是掺锡的 薄膜(ITO)，它是目前研究和应用最广泛的透明导电氧化物薄膜，为立方结构晶型。ITO薄膜的最低