多晶硅铸锭炉加热室结构设计技术分析.docVIP

多晶硅铸锭炉加热室结构设计技术分析 　　摘 要：多晶硅铸锭炉的加热室的结构设计对多晶硅锭的熔铸，有着重要的作用和意义。加热室是多晶硅铸锭炉的重要组成部分，对多晶硅锭的生产过程有着调整作用，需要优化结构设计，提高加热室的结构设计技术。文章简述多晶硅铸锭炉，分析多晶硅铸锭炉加热室的结构设计，研究提高多晶硅铸锭炉加热室结构设计的影响。 　　关键词：多晶硅铸锭炉；加热室；结构设计；技术分析 　　1 简述多晶硅铸锭炉 　　1.1 多晶硅铸锭炉的作用 　　多晶硅铸锭炉是进行太阳能工业设计的专用设备，是硅体铸锭的主要设备，具有高效节能的特点，可以实现硅锭的稳定生产。多晶硅铸锭炉是太阳能多晶硅锭进行大规模生产的应用设备，利用定向凝固技术，进行硅料高温熔铸，实现冷凝结晶，完成太阳能电池生产的要求，属于长久持续工作，具有高精度和可靠性，是可以实现自动化的生产设备。 　　1.2 多晶硅铸锭炉的特点 　　多晶硅铸锭炉具有较高的生产效率和产品质量；加热速度快，工作效率高的优点。应用定向凝固技术和优秀的加热设备，提供良好的熔铸条件；提升技术，保证竖直温度梯度，实现硅体的熔铸效果，降低了生产成本，减少了热量损耗，节约了能源。 　　1.3 多晶硅铸锭炉的技术 　　多晶硅铸锭炉是大型多晶硅铸造的设备，是通过高温对硅料进行熔融后利用定向凝固技术，冷凝结晶后形成的晶向一致的硅锭，实现了太阳能电池对硅片生产的品质要求。多晶硅铸锭炉技术是可以直接制备并适合大规模生产大尺寸硅锭的新型晶体熔铸技术，投炉料可以是纯度较低的硅，对材质没有非常高的限制，但是却可以通过一些方法降低晶界和杂质的影响，所以生产成本较低，成为制造太阳能电池硅锭的主要方法。 　　2 多晶硅铸锭炉加热室结构设计 　　多晶硅的铸造是在加热室内，利用浇铸或者定向凝固的技术，在铸锭炉中制备晶体硅材料。晶体硅材料生长简便，进行同时铸造的时候，相对能耗较小，可以降低材料的生产成本，方便控制，可以直接切成硅片。多晶硅的铸造技术比硅材料的原容忍度高，受到广泛的应用， 挤占了单晶硅的市场，成为??阳电池中最具竞争力的材料。 　　2.1 多晶硅铸锭炉的工作原理 　　多晶硅铸锭炉的工作原理，先在有涂层的坩埚内放入多晶硅材料，放在定向的凝固块上，然后关闭炉膛进行真空抽取，开始对多晶硅材料进行加热，在材料完全熔化后，逐渐提升隔热笼，应用定向凝固技术，把硅体材料结晶过程中释放的热量转移到对下炉腔内壁的辐射，形成硅料的竖直温度梯度。温度梯度可以从底部开始坩埚内的硅液凝固，实现从熔体底部向顶部生长的过程。多晶硅材料凝固之后，进行硅锭退火和冷却，最后出炉，完成整个多晶硅铸锭的过程。 　　2.2 多晶硅铸锭炉的加热方式 　　多晶硅铸锭炉的加热目的是调整温度，进行硅体材料的熔铸，所以在进行多晶硅铸锭的过程中，一定要采用合适的方法。根据加热后的效果可以应用感应加热和辐射加热完成所需温度的调整，实现加热的目的。 　　2.2.1 感应加热 　　感应加热是在多晶硅铸锭的加热过程中，通过硅体感应进行加热，调整温度，完成熔铸过程的方法。但是，因为进行加热的时候，因为磁场一直贯穿硅体材料，所以温度梯度在硅体材料的稳定形成具有一定的难度，会对晶体生产的一致性造成破坏。 　　2.2.2 辐射加热 　　辐射加热的方法是通过辐射对硅体材料进行加热，实现熔铸效果的方法。在多晶硅的熔铸过程中，应用辐射加热的方法进行温度调整，可以精确的控制硅体材料结晶过程中的热量传递，有利于坩埚内部竖直温度梯度的形成，所以通常的多晶体铸锭过程中的加热都是应用辐射加热的方式，对硅体材料的温度进行调节。 　　2.3 多晶硅铸锭炉的加热设计 　　多晶硅铸锭炉的加热室被称为多晶硅铸锭炉的“心脏”，包括石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等，是多晶硅铸造过程中必不可少的设备。加热室可以对多晶硅铸锭过程中的熔铸进行调整，保证多晶硅竖直温度梯度形成的真实完整。因此，多晶硅铸锭炉的加热室设计结构非常重要。 　　多晶硅铸锭炉中加热器的加热能力，一般都要求必须超过1650℃，保证加热器的材料不会与硅体材料发生反应，不会造成硅体材料的污染，可以在真空和惰性气体环境中长期使用。符合多晶硅铸锭炉加热器要求的有金属钨、钼和非金属石墨等。但是因为钨和钼的价格较贵，而且加工比较困难，所以通常对多晶硅铸锭炉内加热器的选择是具有广泛来源，便于加工的石墨。石墨还具有较小的热惯性，可以快速加热，而且抵抗高温和热冲击的性能较好，辐射范围较大，加热的工作效率较好，基本性能相对稳定，是多晶硅铸锭加热室内加热器的最好选择。 　　2.4 多晶硅铸锭炉加热室隔热材料的设计 　　在多晶硅铸锭的熔铸过程中，为了提高多晶硅铸锭的生产工作效率，要求尽可能的加快设备的升温速度，对真空进行抽取，最大限度