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磁石に見る磁性材料の製法 安達信泰 名古屋工業大学 セラミックス基盤工学研究センター 機能創製研究部門　複合機能研究グループ （別名　コンポジットグループ） 磁石材料－身近なも日用品からハイテク機器まで網羅－ 磁石の歴史 人と磁石との出会い　　-黒い天然鉄鉱石- 中国　　紀元前３世紀 高性能磁石の開発の歴史 ＫＳ鋼　　 希土類磁石の登場(1960~ ) SmCo5 良い磁石の条件 小さな体積で強力な磁界を発生 磁気特性の理解のために 電流と磁界 磁気の起源 強磁性体　 磁性としての物質の分類 磁化曲線 飽和磁化の温度変化と磁気履歴（ヒステレシス）曲線 ハード磁性とソフト磁性 ハード磁性　Ｈｃ　大 磁化過程と磁区 磁区と磁壁 磁気異方性 強力磁石の条件 大きな磁化 大きな保磁力 磁石の製法 磁石の製法 磁石の応用　‐車部品に用いられている磁石‐ 医療からハイテク研究施設まで 磁石の国内生産金額推移 希土類元素埋蔵量と生産量 日本の磁石産業に求められるもの 高度技術を用いて高付加価値を持たせる ＭＥＭＳへの応用 NdFeB系高性能薄膜磁石の研究 Nd2F14B：　1983年　住友特殊金属　佐川らが発明　　　　　　　現在も世界最強永久磁石 NdFeB薄膜磁石の合成 単磁区粒子系の制御 （200~300nm) 垂直磁気異方性の制御 Mo(100)上のMBE成長例 作製方法 スパッタリング LTD as-depo膜のTEM像 HTD as-depo 膜のTEM像 磁気異方性の比較 Annealing process SEM 像 Anneal 膜の微構造 Anneal 膜の磁気特性 Assignment of particles in grain boundary Conclusions Annealing at 650oC/min. TEM: Nd2Fe14B - ? phase NdO Nd2Fe14B grain : 400 nm, near single domain,and behaves as nucleation type magnet. まとめに変えて　　　－周期律表－ Ti (00?2) Mo (110) 2? Mo (200) NdO (black) Amorphous Matrix Intensity (a.u.) LTD HTD Ku = 0.014 J/cm3 Ku = 0.059 J/cm3 H // plane Magnetization (kG) H (kOe) H (kOe) Ku = MsHc / 2 Annealing Time (min) Temperature (o C) Furnace Cooling to Room Temp. 650oC, 30 min Conditions for Vacuum Annealing IR Heating Type Vacuum Furnace Vacuum Pressure = 6.7 x 10-4 Pa [30 mins, 650oC, 6.7x10-4 Pa] 昇温速度　hr = x oC/min (x: 10　~　∞） 50oC/min Dense, continuous, no voids fine crystals, some small voids surround the large and elongated 0.5 μm crystallites. hr = 50oC/min 2? 105 004 006 214 115 008 208 218 225 NdO (111) NdO (220) Mo (200) Mo (110) Intensity (a.u.) uniformly distributed grains with size ~ 400 nm plain view cross section Initial magnetization curve Nucleation type mechanism 4?M (kG) H (kOe) (BH)MAX = 27 MGOe 4?M H (kOe) As deposited Annealed Film annealed at 650oC Amorphous matrix Nd2Fe14B matrix Matrix 中、境界に多くのNdOが存在 Particles: Structure: fcc (a ~ 5 nm) NdO (BH)max 20 MGOe以上 Hc　15 kOe以上 Ir 1.0 T以上 垂直、面内に磁化コントロール可能 膜厚　３００ μm　以下 パターン化（リソ対応可能） MEMS応