电子功能材料及元器件（大学课件）梁喜双-8-3 压电式压力传感器的工作原理.pptxVIP

8-3 压电式压力传感器的工作原理 第八章 压力传感器 8-3-1 压电效应 当对某些晶体在某些特定方向上加力时，在施力方向的垂直平面上出现正、负束缚电荷，这种现象称为压电效应。 当晶体受到机械力作用时，一定方向的表面产生束缚电荷，电荷密度大小与所加应力大小成线性关系，这种由机械效应转换为电效应的过程称为正压电效应。 当某些晶体在外电场激励下，会使晶体在某些方向上产生形变（或谐振）现象，且二者之间亦存在线性关系，这种由电效应转换为机械效应的过程称为逆压电效应。 图1 压电效应可逆性 8-3-1 压电效应 压电元件在受到力作用时，作用力与产生的表面电荷间的关系可表示为 q=dijσ q为产生表面电荷的密度，σ为单位面积上的作用力，dij为压电常数 8-3-1 压电效应 常见晶体的压电系数 逆压电效应 S=dtE ,产生变形，应变S，外加电场强度E 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。 图1 石英晶体结晶轴向示意图 X轴为二度旋转对称轴，又称为电轴或极化轴，沿X轴方向的压电效应最显著，Y轴又称机械轴，沿Y轴方向具有横向压电效应。Z轴是