超声波芯片探伤仪设计与实现.docVIP

编号： 　　　 专科毕业设计（论文） 题 目： 超声波芯片探伤仪的设计与实现 学 院： 机械工程学院 专 业： 机电一体化技术 姓 名： 学 号： 班 级： B0911 指导教师： 职 称： 讲师 完成日期： 2012年6月 摘 要 超声探伤技术是无损检测领域中的重要的方法，在冶金、勘探、生产控制，质量管理、和安全监测中有着广泛的应用。现在半导体生产工程中，超声波探伤起到了在低成本的基础上快速，准确的检测出缺陷的不可替代的作用。借助单片机体积小、成本低、可靠性高、运用灵活等特点，利用可擦除可编程逻辑器件(EPLD)的实时逻辑处理功能，并通过UO端口和高速处理能力，开发了一个数字化超声波脉冲反射式探伤仪。该仪器实现了检测过程中的信号发射、接收、放大、噪声处理、数据采集、回波图形显示、缺陷判定、以及检测结果存储、回放和输出功能，解决了传统超声检测无记录等问题，减少了人为因素的影响。利用数字信号处理技术，提高了信噪比，提高了检测的可靠性。在超声波脉冲反射探伤仪开发中，采用了模块化的设计方案，提高了系统的易维护性；选用了低噪声、低漂移、高精度、高可靠性的集成电路芯片，提高了系统的可靠性；采用大屏幕的液晶显示器、中文菜单化的操作界面等，实现了良好的人机界面。该仪器具有检测精度高、结构简单、操作方便，成本低廉、体积小、重量轻等特点。 关键词：超声波；脉冲反射；芯片探伤仪；无损检测 Abstract Ultrasonic testing is one of important method of NDT(Non-destructive Testing)． It has been widely used in metallurgy,reconnoiter，production quality control andsafety supervising．It is non·substituted in the semiconductor field because of highspeed and high accuracy． By using MCU(Microcomputer Control Units)and EPLD(Erasable Programmable Logic Device)，a digitized ultrasonic wave pulse reflection cracketection system is developed．MCU has small volume，low price，high dependability,and EPLD has easily operating I／O ports，high speed operation ability,which canrealize most of functions such as signal emitting，incepting，magnifying，datacollecting and processing，displaying graphics，determinant defects．The storageproblem of traditional ultrasonic testing system is solved，and some infection factorsof handlers are reduced．In virtue of technology of digital analysis and processing，theSignal—to—Noise is progressed，and testing reliability is improved．A very goodfoundation is established for the research of ultrasonic image testing．In the ultrasonic-reflection-crack-detection system，modularization designing isused to increase system maintainability．The system uses chip with lower noise andexcurs