超大规模集成电路制造工艺中对消除1f噪声影响的研究-research on the effect of eliminating 1f noise in ultra-large scale integrated circuit manufacturing process.docxVIP

a a n d s i l i e o n i n t e r f a e e l a t t i e e i n t e r f a e e r o u g h n e s s p r o d u e e s l i t t l e i n f lu e n e e . T h u s n o t t o t r i g g e r l / f n o i s e ’ s “s w i t e h ，，. 5 0 i t e a n p r e v e n t t o g e t b a d l / f n o i s e p e r f o r m a e e w i t h d o p in g n i t r o g e n g a t e o x id eI n t h i s t h e s i s ， w e i n t r o d u e e s t h e m e t h o d t h a t d o P i n g n i t r o g e n t o g a t eo x i d e b y p l a s m a ， a n d t h r o u g h d e s i g n e x P e r i m e n t s t o P r o v