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平板式电容传感器测量电路研究文章加入时间：2004年11月4日　9:49:26肖志红　　1.引言　　电容传感器在电子测量技术中占有十分重要的地位，广泛应用于各种测量系统。他具有结构简单，分辨率高，抗干扰能力强，动态响应快，能在恶劣工况条件下工作，并能实现非接触式测量等特点。他的基本工作原理是基于被测物理量的变化可以转换为电容量变化的这一特点。由物理学可知，电容器的电容量是构成电容器的两极片形状、大小、相互位置及电介质介电常数的函数。以平行板电容器为例，当不考虑边缘电场影响时，其电容量Cx(F)为：其中： ε为电容传感器介质的介电常数(F／m)；　　S为极板的面积(m2)；δ为极板间的距离(m)。　　电容传感器的工作原理正是如此。也就是说当极板间的距离发生变化或极板间的介质状态参数发生变化而使介电常数ε产生变化时(如介质的温度、湿度等参数发生变化时，匀能导致介电常数的变化)都将引起电容量变化。故可据此测量物体的位移以及介质的各种状态参数。只要被测物理量的变化能使电容器中任一种参数产生相应的改变而引起电容量变化，那么再经过一定的测量线路将此变化转换为有用的电信号输出，即可根据这种输出信号大小来判定被测物理量的大小，这就是电容式传感器的基本工作原理。本文介绍的平行板电容传感器主要利用了被测物体介电常数与密度的关系，可把介质的密度变化与电容变化联系起来。电容式传感器有一个重要特征，就是电容