生产操作规程ppt课件.pptVIP

根据三原色原理叠加后的单色形成了第三种颜色并脱离了原本的单色颜色更加丰富象征着产品在原有空间的组合中产生了突破性的变化 PECVD生产操作规程 1 安全警告 设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险 严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域 机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险 未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机 2 安全与标识 威胁人身伤亡或健康 微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2 热的表面 触电危险 戴防护眼镜 戴防护手套 3 开机 开总电源 启动计算机 检查冷却水 检查气源 启动“system”程序 3.1 开总电源 检查三 只红色急停按钮是否复位，如末复位拉出复位 向右转动主电源断路器手柄复位，然后向左转动手柄，主电源合闸 机器上指示灯、温控仪表点亮 可确认总电源已开启 3.2 启动计算机 轻压一下工控机主机上“POWER”按钮，计算机启动WIN-NT 3.3 检查冷却水 冷却水压力应在4kg/cm2--6kg/cm2范围内 先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀 检查、调节水流量计，ww1--4 为 10L/min , ww5--6为 6L/min，ww7--12 为