第2章_(34讲)_应变式传感器.pptVIP

第二章 应变式传感器 学习重点及要求 掌握应变式传感器的工作原理； 理解电阻应变效应和压阻效应； 了解应变式传感器的应用。  概述 工作原理 电阻应变效应 核心元件 电阻应变计（应变片） 主要应用 力、力矩、压力、加速度、重量 §2.1 电阻应变效应 一、工作原理 当金属丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值将发生变化，这种现象称为金属的电阻应变效应。 长度为l，截面积为S，电阻率为的金属或半导体丝，在未受力时，原始电阻为： 当金属电阻丝受到轴向拉力后，长度将伸长l，横截面积将缩小s，电阻率因为晶格变化等因素的影响将改变，引起电阻值变化R。 l/l称为轴向应变，用表示，常用单位（1 =1x10-6mm/mm） r/r称为径向应变，纵向伸长和横向收缩的关系用泊松比表示。 r/r=-l/l S/S=2r/r K0———灵敏度系数 它受两个因素影响：一个是（1+2µ），它是材料的几何尺寸变化引起的，另一个是/（），是材料的电阻率随应变引起的（称为压阻效应）。 对于金属材料而言，以前者为主，则K01+2µ； 对于半导体， K0主要由电阻率的相对变化所决定。 实验表明，在金属电阻丝拉伸比例极限内，电阻的相对变化与轴向应变成正比。半导体应变片的灵敏度要比金属大50~100 倍。 应力与应变的关系： T—试件应力 —试件应变 E—试件的弹性模量。 E=1.67×1011a 常用金属敏感材料：康铜（铜镍合金）、镍铬合金、铁铬铝合金、铁镍铬合金等。 常温下使用的应变计多由康铜制成。 二、应变片分类 电阻应变片是一种能将被测试件上的应变转换成电阻变化的敏感元件。 （1）金属应变片 a.金属丝应变片 回线式 短接式 b.金属箔式应变片 箔式应变片是在绝缘基底上，将厚度为0.003-0.01mm电阻箔材，利用照相制版或光刻腐蚀的方法，制成使用于各种需要的形状。 箔式应变片 箔式应变片的优点(与金属丝应变片比较) 工艺上能保证线栅的尺寸正确,阻值离散程度小; 形状可以根据需要定制; 敏感栅截面积为矩形,表面积大,散热好,可以通过较大的电流; 厚度薄(0.003-0.01mm),有利于形变传递; 蠕变小; 横向效应小. c.金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成厚度为0.1 m以下的金属电阻材料薄膜敏感栅，最后加上保护层。 优点：应变灵敏度系数大,允许电流密度大。 缺点：难控制电阻与温度、时间的关系。 （2）半导体应变片 工作机理：硅材料的压阻效应 在半导体晶体上施加作用力，晶体除产生应变外，其电阻率会发生变化。 压阻效应：由外力引起半导体材料电阻率变化的现象称为半导体的压阻效应。 半导体应变片灵敏系数很高，可达50～100。而金属仅为 1.5 ～ 2。 半导体应变片受轴向力作用时，其电阻相对变化为： 式中 —半导体材料的压阻系数。 实验证明，  E比1+2µ大上百倍，因此1+2µ可以忽略。 半导体应变计优点 灵敏度高 体积小 具有正、负两种符号的应力效应，可以实现差动输出 机械滞后小，可测量静态应变等。 §2.2 应变计的主要特性 应变片的优点： 测量应变的灵敏度和精度高； 应变片尺寸小、重量轻、结构简单、使用方便、响应速度快。因此既可用于静态测量，又可用于动态测量，具有良好动态性能。 测量范围大； 能适应各种环境； 价格低，品种多。 应变片的缺点： 非线性明显，尤其是半导体应变计； 输出信号微弱，抗干扰能力差。 1、应变计的灵敏度系数 注意： 指的是‘标称灵敏度系数’。因为应变计粘贴到试件上不能取下再用。 应变计的灵敏度k恒小于金属线材的灵敏度系数k0。 （为什么？） 半导体材料的灵敏度系数： 2、横向效应 定义： 将直的电阻丝绕成敏感栅以后，虽然长度相同，但应变状态不同，其灵敏系数降低了，这种现象称为横向效应。因此，应变片的灵敏系数K小于电阻丝的灵敏系数KO。 为了减小横向效应，多采用直角线栅式应变计、箔式应变片。 3.敏感栅尺寸 基长：敏感栅在纵轴方向上的长度。以大为好，可减小横向效应。 基宽：与应变片轴线相垂直的方向上，应变片敏感栅外侧之间的距离。以小为好，可减小尺寸。 4.标定应变计的灵敏度系数： 应变计粘贴在单向应力场中 试件的泊松比：0.285 已经将横向效应考虑进来 5.其他特性参数 初始电阻R0 指应变片未粘贴前在室温下测得的静态电阻值，常见的有120、175、350、500、1000和1500等。 允许工作电流 又称最大工作电流：是指允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流值。 一般静态测量时为25mA左右，动态测量可高一点。 线性度 0.05% 1% 应变极限 相对误差10%，则认为应变计达到破坏状态 机械