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PAGE PAGE 5第五章 长度测量§5-1 概述长度单位：米的定义（三次定义）通过计量检定，将国家计量标准器（基准）所复现的计量单位的量值，通过标准，逐级传递到工作用的计量器具，以保证对被测对象所测得量值的准确和一致。这个过程称为量值传递。一、长度量值传递目前，在实际工作中常使用下述两种实物基准：量块和线纹尺。首先由稳定激光的基准波长传递到基准线纹尺和一等量块，然后再由它们逐次传递到工件，以确保量值准确一致。二、长度测量的标准量标准量是体现测量单位的某种物质形式，具有较高的稳定性和精确度。光波波长：直接使用米定义咨询委员会推荐使用的五种激光和两种同位素光谱灯的任一种来复现。量块是由两个相互平行的测量面中心之间的距离来确定其工作长度的一种高精度量具。量块是单值量具，即一个量块只有一个尺寸，为了满足一定尺寸范围的不同尺寸要求，量块可以组合使用。量块的公称尺寸和实测尺寸。量块的公称尺寸一般都刻印在量块上。刻在量块上的公称值与该量块的实测值之差即为量块的示值误差。 量块的精度分级又分等。在高精度的科学研究、测量工作中应按等使用，而在一般测量时可按级使用，以简化计算。三、光栅、容栅的栅距和感应同步器的线距。 ①测量效率高； ②容易实现数字显示和自动记录，因而读数直观，提高了读数精度，而且工作可靠； ③可以实现测量自动化和自动控制。长度测量的基本原则——阿贝原则阿贝原则:在长度测量时，为了保证测量的准确，应使被测零件的尺寸线(简称被测线)和量仪中作为标准的刻度尺(简称标准线)重合或顺次排成一条直线。符合阿贝原则的测量，其示意图：可尽量减小导轨直线度误差对测量结果的影响。四、长度计量中常用的量具与量仪游标量具测微量具表类量具：此类量具的主要原理是将测量杆微小直线位移通过适当的放大机构放大后而转变为指针的角位移，最后由指针在刻度盘上指示出相应的示值。长度计量仪器传感装置电感式传感装置电感式互感式气隙式截面式螺管式气隙式螺管式测长仪和测长机、卧式测长仪、测长机工具显微镜立式接触式干涉仪激光干涉测长仪电动量仪§5-2 长度尺寸测量一、常见尺寸测量 图见ppt5二、微小尺寸测量1. 线宽及间距测量线宽和间距的测量仪器按其测量方法可分为比较测量和直接测量两种。（1）比较测量（2）直接测量1）电视测量2) 光电倍增管测量3）激光扫描测量系统利用激光光束的相干性在物体表面进行扫描。当物体表面载有某种标记(如刻线等)时，只要激光束落在标记边缘上，就会产生衍射现象，光能量发生变化。光学系统接收光能量并通过光敏元件转换成电信号，从而精确地测量物面上各种标记的相互尺寸位置。扫描方式有两种；一是主动扫描，就是被测标记不动，利用转鼓等使激光束在被测表面上进行扫描；另一种是被动扫描，即激光束不动而是被测表面移动来进行扫描。4）扫描电子显微镜常用的电子显微镜有两种：一种是透射式电子显微镜(TEM)，另一种是扫描式电子显微镜(SEM)。电子显微镜的放大倍数从几十倍至几百万倍（而光学显微镜的最大放大倍率一般为2000~4000倍），分辨率可达纳米级(人眼的分辨本领约为0.1毫米)。透射式电子显微镜因电子束穿透样品后，再用电子透镜成像放大而得名。它的光路与光学显微镜相仿。由照明系统、聚光系统、成像系统、放大系统、记录系统组成，可以对样品进行无损伤分析。特点：高分辨率、高对比度、低电子束照射。 扫描电子显微镜是利用聚焦度高的电子束对被测样品进行光栅方式扫描，通过对样品发射的二次电子进行检测来获得线宽值。扫描式电子显微镜的电子束不穿过样品，仅在样品表面扫描激发出次级电子。放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像。 2. 线深(台阶)测量线宽、间距相线深组成微尺寸的三维测量。线深测量方法有接触式和非接触式两种。接触测量存在测量力(1~ 20)×10-5N，探头一般用金钢石制成，其半径为1.5~12mm，该方法分辨率可达5nm。对间距较小的线宽，由于探头有一定的尺寸，故不能测量。非接触测方法有：光学干涉测量、自动调焦测量等。三、大尺寸的测量 图见ppt51、用弦高法测量大直径的孔和轴2、滚子法3、激光跟踪干涉仪测大曲面四、坐标测量法 单坐标、双坐标、三坐标及多坐标坐标测量法是几何量测量最基本最常用的测量方法，通过测量被测几何要素上若干个点的位置坐标继而求得被测参量。包括采样读数和数据处理两个步骤。建立工件坐标系、由采样点的坐标值计算被测量。实现测量的关键是建立被测参量和采样点在测量机坐标系中的坐标关系模型。五、误差源分析原理误差计量器具误差定位误差测力引起的误差温度引起的误差人员误差六、被加工尺寸的在线监测——主动