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- 2018-06-30 发布于四川
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专用集成电路设计基础教程(来新泉西电版)第三章器件的物理基础及其spice模型
3.1 PN结 PN结是半导体器件的最基本的结构要素,将PN结适当组合可制成晶体管、可控硅管和其他集成电路器件。本节主要介绍PN结的基本结构、工作过程及其重要特性。 3.1.1 PN结的形成 应用半导体制造工艺把一块半导体加工成一半N型半导体、一半P型半导体时,二者的界面两边将产生很大的载流子浓度差。因为P型区内空穴载流子浓度高,N型区内自由电子浓度高,所以界面处载流子由浓度高处向浓度低处扩散,结果在P型半导体和N型半导体交界面上形成一个特殊的薄层,即PN结,所形成的电场称为PN结电场。由于PN结内的电子与空穴中和而无载流子,因此PN结又叫“耗尽层”,如图3-1所示。 图3-1 PN结的形成 图3-2是硅PN结的结构及其一维理想模式图,它是在集成电路制造过程中形成的(图中“+”表示浓度高,“-”表示浓度低)。 图3-2 硅PN结的结构图 3.1.2 PN结的理想伏安特性 在理想PN结模型下,可得到理想PN结伏安特性表达式: IS称为PN结反向饱和电流; np0和pn0分别为P区和N区平衡时的少子电子浓度和少子空穴浓度; Ln和Lp分别称为电子和空穴的扩散长度,其值分别为其中, Dn和Dp分别是电子和空穴的扩散系数;τn和τp分别是电子和空穴的寿命。 式(3-1)定量表示了流过PN结的电流I与加在PN结上的电压U(P区相对于N区的电压)之间的关系。 3.1.3 PN结的单向导电性 1. 外加正向电压, PN结导通 在PN结两端加正向电压,即P区接电源正极,N区接电源负极,如图3-3(a)所示。在外加正向电压的作用下PN结变窄,有利于扩散运动的进行。多数载流子在外加电压作用下将越过PN结形成较强的正向电流,这时的PN结处于导通状态。 图3-3 PN结的单向导电特性 2. 外加反向电压, PN结截止 在PN结两端加反向电压,即P区接电源负极,N区接电源正极,如图3-3(b)所示。在外加反向电压的作用下PN结变宽,阻碍多数载流子的扩散运动。少数载流子在外加电压作用下形成微弱电流,由于电流很小,可忽略不计,所以PN结处于截止状态。应当指出的是,少数载流子是由于热激发产生的,所以PN结的反向电流与温度有关,必须注意较大的温度变化会对半导体器件有影响。 综上所述,PN结具有正向导通(呈低电阻)、反向截止(呈高电阻)的导电特性,这叫做PN结的单向导电性,其导电方向是由P区到N区。 需要指出的是,当P型区域加上足够高的负电压时,将有大电流流动,如图3-4所示。在集成电路中,PN结不仅在二极管、晶体管等有源器件中使用,而且当其加上反向偏压时,也可作为元器件之间的电绝缘(元器件间的隔离墙)。 图3-4 PN结伏安特性 3.2 有源器件3.2.1 双极型晶体管及其SPICE模型 双极型集成电路由晶体管、电阻和电容组成。其基本器件晶体管包括二极管和三极管。二极管往往由三极管的不同连接实现。三极管的代表是NPN管,标准工艺也以它的主要参数为依据,适当考虑横向PNP,纵向PNP和电阻、电容等。 1. 双极型晶体管的结构 1) NPN管的结构 图3-5为集成电路中使用的NPN晶体管的平面图和剖面图。其外延层是一种杂质种类和浓度与衬底不同的半导体结晶薄层。集成电路内各器件依靠处于反向偏置的PN结相互隔离。包括集电极在内的各个电极均形成在上表面。隐埋层(N+)是在外延之前扩散形成的,是为了降低集电极电流通路的电阻(集电极电阻)而设置的。 图3-5 NPN晶体管结构图 2) 横向PNP的结构 横向PNP的特点包括: (1) β小(由于工艺限制,基区宽度不可能太小,且有纵向PNP的作用); (2) 频率响应差(fT小); (3) 载流子是空穴。 改善的方法:在图形设计上减小发射区面积和周长之比。 横向PNP的结构如图3-6所示。 图3-6 横向PNP的结构 3) 纵向PNP的结构 纵向PNP管的特点包括: (1) 衬底PNP管的集电区是整个电路的公共衬底,直流接最负电位,交流是接地的,所以使用范围很有限,只能用做集电极接最负电位的电路结构。 (2) 工作电流比横向PNP管大。 (3) 不用隐埋层。 (4) 基区电阻大。 纵向PNP的结构如图3-7所示。 图3-7 纵向PNP的结构 2. 双极型晶体管的工作原理 双极型晶体管以电子和空穴为载流子(双极性),而且由载流子中的少数载流子决定器件的性能。双极型晶体管是以控制电流来达到放大、开关特性的电流控制器件。与此不同,我们后面要讲的MOS晶体管使用电子或者空穴(单极性)作为
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