二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中应用.docVIP

二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中应用 　　摘 要：二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利用，降低二氯二氢硅对多晶硅生产的影响，对多晶硅生产节能降耗有着很重要的意义。 　　关键词：二氯二氢硅 反歧化 经济效益 　　二氯二氢硅是多晶硅生产过程中产生的一种副产物，因其物化特性与多晶硅生产主原料（三氯氢硅）的差异，对多晶硅生产造成较大的影响。如何充分利用二氯二氢硅，减少污染，降低多晶硅生产成本，是多晶硅生产行业中比较重要的问题。近几年来，国内多家多晶硅生产厂家通过新建二氯二氢硅反歧化装置，已成功对装置中副产的二氯二氢硅进行了回收利用，取得了良好的经济效益和社会效益。 　　一、二氯二氢硅的物化特性 　　二氯二氢硅（又名二氯硅烷、硅仿、硅氯仿，Dichlorosilane，简称DCS），分子式SiH2Cl2，纯净的三氯氢硅是无色或微黄色的透明可燃液体，有强烈的刺激性。在空气中发生反应产生白色烟雾，遇水反应产生HCl气体，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸，具有急性毒性不宜在现场长期存储。常温下呈液化的气体。二氯二氢硅在空气中易燃，燃烧后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯气、氢气和不定性硅，施以强烈撞击时也会自行分解，在湿空气中产生腐蚀性烟雾。与碱、乙醇、丙酮起反应，即使接触少量卤素或其他氧化剂也会发生激烈反应。二氯二氢硅的毒性主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。 　　二、多晶硅生产中二氯二氢硅的来源及对生产的影响 　　国内目前大数多晶硅生产厂家均采用改良西门子法生产工艺，该工艺在合成、CVD还原及四氯化硅氢化工序里均会产生一定量的副产物二氯二氢硅。据国外研究机构表明，少量的二氯二氢硅在CVD还原过程中可以加快多晶硅沉积速度，且当达当其浓度达到一定范围（≤8%）后会达到自平衡，即二氯二氢硅生成量与分解量相当，但在实际生产过程中发现，随着生产装置运行时间加长，二氯二氢硅会逐步富积，一方面容易在CVD还原过程中在还原炉炉筒壁上产生无定形硅粉，使生产出的多晶硅质量受到很大影响；另一方面，因二氯二氢硅沸点较低，造成还原尾气分离塔操作极易超压，在实际生产过程中需经常进行人为泄压，不但造成物料、能量的大量损耗，而且因二氯二氢硅极易着火的特性，在处理排放气过程中经常会发生着火爆炸的事故。因此在改良西门子法多晶硅生产工艺中，必须要严格控制还原尾气循环氯硅烷中的二氯二氢硅在一定浓度范围之内。 　　三、二氯二氢硅反歧化的工艺技术原理 　　二氯二氢硅是一种沸点只有8.2°C，自燃温度为58°C的强腐蚀有毒液体，不宜在现场长期存储。但其可以在弱碱性树脂的催化作用下与四氯化硅（SiCl4）发生反歧化反应生产三氯氢硅（SiHCl3），反应机理为：四氯化硅、二氯二氢硅与弱碱性树脂的活性氨基形成二级络合物，之后二级络合物分两分解为三氯氢硅和活性氨基，过程如下： 　　四、二氯二氢硅反歧化工艺对比 　　目前国内多晶硅生产厂家普遍采用两种二氯二氢硅反歧化工艺：固定床工艺和反应精馏工艺： 　　（一）固定床工艺 　　工艺流程简图及工艺描述 　　来自外界系统的DCS（二氯二氢硅）与STC（四氯化硅）及预分离塔系统返回的STC按照一定的摩尔比或质量比配比后混合进入缓冲罐，再经泵加压至一定压力（一般0.6～0.8MPag，依据反歧化反应器设计压力而选定），送入DCS反歧化反应器，控制反歧化反应器在一定的温度范围（不同的工艺包选择不同的反应温度，一般在100℃以内），在反歧化树脂的催化作用下，DCS与STC反应生产TCS（三氯氢硅）。反应后的氯硅烷混合物直接进入到预分离塔，预分离塔塔釜采出的STC直接返回到进料缓冲罐，塔顶采出TCS及极少量未反应的DCS，送至精馏系统提纯后作为还原生产原料。 　　（二）反应精馏工艺 　　工艺流程简图及工艺描述 　　精制的STC（四氯化硅）通过泵送到反应塔催化反应段上端进料，精制的DCS（二氯二氢硅）通过泵送到反应精馏塔的催化剂下端进料，在催化剂的作用下，STC与DCS发生歧化反应生成TCS（三氯氢硅）。同时，由于反应在精馏塔中进行，合成产品TCS和未反应的微量DCS及少量的STC，在反应段上端的精馏段进行传质分离，从塔顶采出三氯氢硅产品送去精馏系统进一步提纯（为了保证塔顶能充分利用循环水冷却，且保证催化剂在安全的操作温度范围内，一般需要保证塔顶采出一定量的STC），塔釜采出的STC产品进一步冷却降温后循环使用。 　　1.两种反歧化工艺比较 　　固定床反歧化和反应精馏反歧化两种工艺目前在国内均有实际应用案例，从实际运行效果来看，两种工艺均能满足多晶硅生产过程中产生的二氯二氢硅的回收利用要求。两种工艺各有优缺点，反应精馏工艺的转化率比固定床工