数字干涉测量方与面形的三维干涉测量与评价.pptVIP

* 数字干涉测量方法及面形的三维干涉测量及评价 一、实验目的 了解激光干涉的近代方法??数字干涉技术的原理和方法； 掌握干涉的实时检测技术； 了解数字干涉方法的特点及应用场合； 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理； 实测一个平面光学零件的表面形貌并对评价指标PV，RMS的定义有所掌握。 二、实验原理 随着电子技术与计算机技术的发展，并与传统的干涉检测方法结合，产生了一种新的位相检测技术??数字干涉技术，这是一种位相的实时检测技术。这种方法不仅能实现干涉条纹的实时提取，而且可以利用波面数据的存储功能消除干涉仪系统误差，消除或降低大气扰动及随机噪声，使干涉技术实现?/100的精度，这是目前干涉仪精度最高的近代方法。 参考镜2由压电陶瓷PZT驱动，产生位移。此位移的频率与移动量由计算机控制。设参考镜的瞬时位移为li，被测表面的形貌（面形）为w(x,y)，则参考光路和测试光路可分别用下式表示： 干涉场中任意一点的光强都是li的余弦函数。由于li随时间变化，因此光强是一个时间周期函数，可用傅里叶级数展开。 从而求得被测波面，由下式给出： 为进一步降低噪声，提高测量精度，可用P个周期进行驱动扫描，测量数据作累加平均，即 上式说明孔径内任意一点的位相可由该点上的n×p个光强的采样值计算出来，因此，可获得整个孔径上的位相。除实现