一种新型的半导体气体传感器 热线型气体传感器.pdfVIP

一种新型的半导体气体传感器 热线型气体传感器 注：本项目为河南省重点科技攻关项目 编号：0124090444 摘要：热线性气体传感器作为一种新型的半导体气体传感器，除了具有灵敏度高、响应恢复时间 短、稳定性好的特点外，还具有较低的功耗和优良的抗环境温湿度干扰能力，解决了传统旁热式 半导体气体传感器中长期存在问题。本文较为详细地介绍了该类传感器的结构、气敏性能以及气 敏机理。 关键词：气体传感器；气敏性能；气敏机理 中图分类号：TP212.2文献标识码：A 文章编号：1006-883X(2004)10-0022-04 郭宏毅 詹自力 潘丽华 一、引言 半导体气体传感器具有结构简单、灵敏度高、成本低廉、制作工艺简单等优点，经过60 多年的研究， 已得到迅速大发展，在可燃气体、毒性气体的检漏报警、环境气体监控、工业气体中间控制、汽车尾气检测 ［、 ］ 1 2 等方面获得了较为广泛的应用 。 但是，在实际应用中，由于环境的复杂性、气体的多样性及材料本身的稳定性等方面的因素，该产品也 存在以下问题： （1）元件选择性差、稳定性不好，长期工作存在信号漂移的问题； （2 ）元件工作温度高、功耗大，不利于制成便携式仪器，限制了元件的应用； （3 ）检测机理模糊，理论的发展落后于实践，不能很好的指导气敏材料及元件的开发； （4 ）生产工艺比较落后，不利于气体传感器的微型化和集成化。 以上分析表明，半导体气体传感器在诸多方面尚不完善，有必要进一步深入研究，未来的发展趋势将主 要体现在新材料的开发、纳米材料的应用、气敏机理的研究、低功耗传感器的开发、传感器的集成化和微型 化、传感器的智能化等方面。 热线型气体传感器作为半导体气体传感器的一种，除了具有传统旁热式半导体气体传感器所具有的灵敏 度高、响应恢复速度快和稳定性好的优点外，还具有较低的功耗和优良的抗环境温湿度干扰的能力，所以该 类气体传感器是非常具有发展潜力的一种气敏元件，有望解决传统半导体气体传感器中存在的功耗高、环境 ［］ 3 温湿度影响大的问题。目前，关于热线型气体传感器研究的文章很少，最早的见于 1998 年 ，近年来研究 ［ ］ 4-6 才开始活跃 。下面，我们将对热线型气体传感器的结构、气敏性能和气敏机理 做了较为详细地介绍。 二、热线性气体传感器结构 热线型气体传感器由敏感元件和补偿元件两部分构成，其中敏感元件是将配制 好的气敏材料浆料涂在预先烧制的直径约0.4mm 的Pt 丝线圈上，制作成直径0.8mm 左右的珠状元件，再在空气中干燥1 小时，并在马弗炉中500 ℃～800℃处理约2 小 图1 热线型敏感元件结构图 22 传感器世界 2004. 10 Research Development ［］