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利用 2D 单分散纳米颗粒作模板制备具有 13nm 孔间距的高度有序的阳极氧化铝 H. Asoh and K. Nishio, M. Nakao, A. Yokoo, T. Tamamura, H. Masuda 关键词: 氧化铝 阵列 纳米粒子 多孔材料 模板合成 引言 因为纳米孔排列结构在各种功能纳米器件的潜在应用前景，人们对它的制备越来越 感兴趣。多孔阳极氧化铝，是一种典型的自有序孔阵列材料，由铝在酸性溶液中阳极氧 化形成，由于其具有孔垂直于表面尺寸统一这样独特的几何结构，是作为制造纳米器件 初始结构的好选择。据报，在适当条件下，铝能阳极氧化生成远程有序的多孔阳极氧化 铝。此外，通过使用模具对铝预压痕，其后对预压痕的铝进行阳极氧化，可以制备理想 的有序多孔阳极氧化铝。在这个过程中，通过压印铝生成浅凹痕，在氧化过程中这些凹 痕处可以开始孔的形成，并且使整个区域得到的有序孔阵列结构。为了拓展多孔阳极氧 化铝在材料上的应用，减小孔径和孔间距 并保持孔阵列有序度是必要的。然而，制 备孔径小于 10 纳米且高度有序的多孔阳 极氧化铝，迄今尚未成功。在低电压阳极 条件，自然有序排列的孔消失，生成间隔 较小的孔阵列。至于使用预压铝这个工 艺，由于制备一个好的模具非常的困难， 孔间距至今还限制于 45nm 。在本文中， 我们通过使用二维（2D ）纳米粒子阵列做 模板，制备出高度有序多孔阳极氧化铝， 其孔间隔为 13nm，孔径小于 10nm。对于 图1 用Fe O 颗粒的二维阵列做模板制备高 2 3 制备高度有序的多孔阳极氧化铝研究，在 度有序阳极氧化铝的示意图；1）铝层沉积在 Fe O 颗粒的二维阵列上，2 ）铝层从Fe O /Si 本研究获得到的孔径和孔间隔是迄今为 2 3 2 3 裂解，3 ）Fe O 颗粒的迁移，4 ）铝的氧化；a)Fe O 2 3 2 3 止最小的。 颗粒的二维阵列在Si上，b)铝层通过溅射沉积， c) 具有有序阵列压痕的铝层,d) 多孔阳极氧化 图1显示的是孔间距为13nm的高度有 铝。 序的多孔阳极氧化铝的制备流程图。为了控制孔的 生长，将应用先前报告中的预压痕铝，铝的预压痕 使用二维有序单分散小颗粒阵列做为模板。在此过 程中，通过复制二维的聚苯乙烯颗粒阵列有序结构 形成微米范围的浅凹痕，这些浅凹痕在阳极氧化过 程中开始孔的形成。在图1，单分散纳米粒子的二维 阵列首先在硅衬底上形成。为了在本实验中准备出 具有非常小的晶格的二维阵列，所用γ-Fe O 纳米粒 2 3 子通过对氧化有机金属前驱体氧化分解来制备。再