第五章 扫描探针加工技术.pptVIP

一种直接加工的方法，别的依赖于电场或者探针电流 提高扫描速率是一个方法，另外用高灵敏度的抗蚀剂 芯片是半导体元件的统称，是集成电路的载体。 又称蘸笔纳米光刻，利用AFM探针作为蘸水笔，在针尖蘸上特殊墨水，将墨水写到衬底材料表面。 烷酸醇墨水 扫描探针点墨法光刻 (Dip-Pen Nanolithography，DPN) 先将探针在墨水池中蘸上特定墨水 探针移到需要写图形的位置 探针与表面足够近时，由于毛细管作用，墨水自然附着在衬底材料表面 DNP工作原理 墨水与衬底材料有亲和作用 一旦墨水与表面接触，墨水能够通过化学吸附作用在衬底材料表面形成单分子层 最理想的墨水与衬底材料是烷酸醇与金，润湿性比较好 完全不浸润的不可以 DNP工作要求 表面晶粒尺寸：晶粒大吸附性好 表面化学吸附性： 探针驻留时间 环境湿度：越难写出高精密度图形 影响DNP图形分辨率的因素 设备简单，成本低，原子力显微镜即可 使用不同墨水，可以直接形成生化材料图形 可同时实现高分辨率对准和多层点墨，横向分辨率5nm 高分辨率制图，小于15nm的点阵图形可以实现 利用探针阵列可实现平行点墨制图，大大提高制图速度 自1999年提出后，作为一种低成本的纳米加工技术其应用领域不断扩展。 DNP法的优点 5.6 抽减式纳米加工 电化学刻蚀加工 STM,AFM都可与酸碱腐蚀液结合，对沉底材料表面进行扫描腐蚀加工 STM在稀释的