无尘车间测试分析最新版知识.pptVIP

目录 无尘车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。无尘室在建造施工完成后都要进行洁净度检测，查看通风，除尘，风量等各项指标是否能达到设计求。 一、气流速度及其均匀度检测 1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。 2、系统或房间的风量检测。 3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。 4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。 5、噪声的检测。 6、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。 7、振动的检测。振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。 8、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。 9、总风量和新风量的检测。 二、为证明无尘室做得令人满意、必须满足以下准则要求： 1、无尘室的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。 2、无尘室内的空气是从洁净区向洁净度稍差的