传感器原理及应用第3章教学ppt课件.pptVIP

第三章;电阻式传感器;应变式电阻传感器;电阻应变片的发展历史; 第三章 应变式传感器 ; 第三章 应变式传感器 ;应变式传感器的核心元件：电阻应变片，试件上的应力变化转换成电阻变化。 ;若电阻丝是圆形的，则A=πr 2,对r 微分得dA=2πr dr，则 ;§3.1 电阻应变片的工作原理;§3.1 电阻应变片的工作原理;§3.1 电阻应变片的工作原理;半导体应变片又称为压阻式传感器。 基于半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。;实验证明πlE比1+2μ大近百倍，所以1+2μ可以忽略，因而半导体应变片的灵敏系数： ; 第三章 应变式传感器 ;金属应变片：丝式 箔式 薄膜式 ;利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅，厚度一般在0.003~0.010 mm，粘贴在基片上，上面再覆盖一层薄膜而制成。 优点： 表面积和截面积之比大，散热条件好，允许通过的电流较大，可制成各种需要的形状，便于批量生产。;金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。 特点： 这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 ;§3.2 电阻应变片的种类;1、体型半导体应变片 半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上制成。;通过薄膜制备技术，在带有绝缘层的试件上沉积半导体材料薄膜而制成。;P型杂质扩散到N型硅单晶基底上，形成一层极薄的P型导电层，再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。; 第三章 应变式传感器 ;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差;变形： 物体在外力作用下而改变原来尺寸或形状的现象。 弹性变形： 当外力去掉后物体又能完全恢复其原来的尺寸和形状。 弹性元件： 具有弹性变形特性的物体。 ;定义： 弹性元件单位变形下所需要的力，用C表示。刚度是弹性元件受外力作用下变形大小的量度，数学表达式为;定义： 通常用刚度的倒数来表示弹性元件的特性，称为弹性元件的灵敏度，一般用S表示，数学表达式为 ;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差;应变片敏感材料—金属或半导体的电阻相对变化与应变之间具有线性关系，用灵敏度系数KS表示： ;测量结果表明，应变片的灵敏系数一般小于敏感材料的灵敏度系数。;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差;应变片敏感栅的两端为半圆弧形的横栅，测量应变时，构件的轴向应变使敏感栅电阻发生变化，而其横向应变也使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化。 ;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差;机械滞后产生原因： （1）应变片在承受机械应变后的残余变形，使敏感栅电阻发生少量不可逆变化； （2）在制造或粘贴应变片时，敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。; 2、零点漂移 对于粘贴好的应变片，当温度恒定时，不承受应变时，其电阻值随时间增加而变化的特性，称为应变片的零点漂移。;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差;应变极限： 在一定温度下，应变片的指示应变对测试值的真实应变的相对误差不超过规定范围（一般为10%）时的最大真实应变值。;一、弹性敏感元件的基本特性 二、电阻应变片的灵敏系数 三、电阻应变片的横向效应 四、电阻应变片的机械滞后、零漂及蠕变 五、电阻应变片的应变极限 六、电阻应变片的电阻值、绝缘电阻和最大工作电流 七、电阻应变片的动态特性 八、电阻应变片的温度误差; 1、电阻值