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中國砂輪企業股份有限公司
高精度多孔質
陶瓷真空吸盤
POROUS CERAMIC CHUCK TABLE
在最新與最具創新性的技術發展中
【定義改變】、【引領行業】
多孔質陶瓷真空吸盤
Porous ceramic chuck table
可將工件吸附固定於 5 u m以下的高精度平面 多孔質陶瓷基本架構
Adhesive surface with planarity of 5um max. Basic porous structure
傳統的鋁台座洞洞板的斷面
Traditional porous Aluminum cross-section
使用簡介 Brief introduction 特性 Features 孔洞數量有限，孔徑較大，容易造成工件變形
L i m i t e d p o r e s , w i t h l a r g e r s i z e ,
藉由金屬 (或是陶瓷 )底座以及特殊多孔 ‧可重複使用 Reusable c a u s i n g d i s t o r t i o n t o w o r k p i e c e
質的陶瓷結合，再加上氣道的設計 ， 經過再研磨後可反覆使用
給予負壓時，便成為一可以將工件平 Reusable after refurbished 工件
滑吸附固定住的真空吸盤。 W o r k
‧耐磨耗 Depletion resistance p i e c e
Work Pieces can be adhesively fixed by 除具陶瓷堅硬特性，耐損耗，
aligning the porous to the body of the 不易損壞
metal (or cer
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