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From:设备部 王程杰 DS-300A 型管式高温扩散炉机台占地 总高约2510mm，长约6100mm，宽约1635mm。 总体结构分为五大部分，见结构平面布局图， 从左到右依次为：工控机控制系统、推舟净化柜、废气柜、加热炉体柜、 气源柜。 工控机 推舟净化柜 废气柜 加热炉体 气源柜 ? 一、工控机控制部分： 工控机控制部分结构上分为 1、2、3三层，每层控制对应层的推舟、炉温及气源部分，总而言之是 每一层扩散氧化系统的控制中心。上方装有二个三色报警灯，一个它显示每层的运转状态，A 绿灯：设备正常运转中。B 黄灯：设备休止或其它。C 红灯：设备异常或故障。 工控机旁边有4个按钮：从上到下分别是1、 急停按钮（停止机械部分动作） 2、加热关 3、加热开 4、上电 二、推舟净化柜： 推舟净化台顶部配置有照明装置，提供操作照明使用。正面是水平层流的高效过滤器及三层推舟的导轨及传动夹固件、对应的舟托装置。 高效过滤网 挡板 石英舟托 石英舟 SIC桨 感应桨上是否有舟 在净化台架下面分别安装有对应的各层电器安装板和 PLC 安装板及公共电气安装板。同时有一台风机。 各层的电器安装板是带拖链的抽屉机构，便于调试和维修。 每块板上装有 5 个RKCHA900温控仪，2个驱动器和一个开关电源以及断路器、熔断器、继电器、接线端子排等。 断路器 熔断器 继电器 平移驱动器 上下驱动器 开关电源 温控仪 RKCHA900温控仪： PLC安装板主要控制净化风机、 流量电磁阀、开/关炉门、事件报警输出 工艺提示、停止加热等。 推舟的控制完全由工控机软件自动控制 三、废气柜 废气柜主要是以排放工艺过程产生的废气，由耐腐、耐温的不锈钢制成 特别是在工艺完成后，打开炉门时，炉管内剩余残余气体。顶上方安装有 总进炉口吹气的调压阀和浮子流量计，以及厂务外围的废排管 炉门开关是由气缸控制的。 关 四、加热炉体柜 1、加热炉部分共有 3 管炉体。（1）顶部配置有水冷散热器以及 4 个散热风机，循环水将炉壳散发的热量带走。 （炉体顶部有厂务外围的热排管） （2）中部分层放置有 3个炉管，由于位置已经在安装的时候调节妥当，因此请勿挪动。 炉管上从左至右分别有6 个接线端子，请务必根据接线端子及线头上的标号进行正确连接。连接时，请使线与炉管外壁保持一定的距离，以使电线不致接受外来的热源。 在炉管外壁，可以看到有 5 个热电偶接线，请不要无故移动它们。因为热电偶插入的位置对温度控制非常关键。每支热电偶上，分别有红(+)、绿(-)两根补偿导线接至电控板控制温控CH2,炉尾处有五支内热偶，直接接温控仪 CH1，时时控制反应管内温度。 电源线（每根都有编号） 热电偶（测炉壁温度） 下层加热炉以下安装有3管加热炉的加热功率部件 （可控硅、散热器、接触器、变压器、过零触发板等） 可控硅散热风扇 过零触发板 五、气源柜 气源柜与炉架一样分为 1，2，3三层。 顶部设置有排毒口，上层的上部，设置有三路工艺气体的进气接口及压缩空气进口。 接口以下设置安装有压力表，截止阀、减压阀，电磁阀，气动阀，以对进气进行控制调节。 对应每层分别安装有相应的电磁阀、质量流量控制器。 柜子的底层装有总电源断路器，恒温槽变压器以及控制电气板。 此部分为炉管尾部部分： 喷淋管（POCL3、O2、大氮） 尾排管（对炉管内抽风） 冷凝瓶 过滤瓶 酸排管 废排管 调节阀 流量计 压差表 气动阀 电磁阀 CDA调节阀 此图为恒温槽 恒温槽主要是对POCL3进行控温，基本保持在20度。上限26度。 当温度高于上限温度时，恒温槽就会报警。 控制面板 控制开关 源瓶 此部分为扩散机台电源控制开关， 设置在气源柜底部。 ?捷佳微创扩散机台工作条件： 1、环境温度：5℃～40℃； ? 2、大气压强：86kPa～106kPa； ? 3、净化间净化级别：1000 级； ? 4、相对湿度：70%； ? 5、无高频及较强磁场的干扰； ? 6、电源：交流 380(1±10%)V，220(1±10%)V；频率：50(1±1%)Hz； ? 7、冷却水：软水；温度 18℃～26℃；水压 0.2MPa～0.4MPa； ? 8、设置排毒抽风口及排废、热气抽风口； ? 9、工艺气体纯度均为 99.999％。 ? 捷佳微创扩散机台工作条件： 1、炉膛有效内径： 300mm 适用于 5-6 英寸方片 2、温度控制范围： 400～1100℃，最大 1250℃ 3、温度控制方式： 5 点内外热电偶串级控制 4、恒温区长度及精度（动态,即模