大面积WELL-THGEM的工艺整版微蚀侧蚀电化学腐蚀-Indico@IHEP.PPTVIP

井型THGEM的研究 刘宏邦，刘倩，洪道金，俞伯祥，陈石 谢一冈，郑阳恒 中国科学院大学 广西大学 中科院高能所 * 2014 第四届微结构气体探测器研讨会,威海 Outline DHCAL WELL-THGEM WELL-THGEM研制 WELL-THGEM 性能研究 WELL-THGEM束流实验 大面积WELL-THGEM的几点考虑 工艺 大面积均匀性测试 高计数率 ASIC数字读出 * * ILC/ CEPC对强子量能器提出更高的要求，需要提高测量JET的能量分辨: 60%/√E ? 30%/√E DHCAL : 数字取样型量能器 + PFA重建算法能有效提高jet的能量测量精度 要求探测器厚度薄，高探测效率，分区方便，紧凑，耐放电 RPC，Double-GEM，Micromegas，THGEM THGEM具有易于制造维护、清洁要求较低、级联使用方便、相对价廉等优点 ,在亚mm空间分辨的粒子径迹测量上有较大的优势 from CALICE studies Simulation of W, Z reconstructed masses in hadronic mode. 60%/?E 30%/?E DHCAL * From A. Breskin, 2013 arXiv:1310.6183 WELL-THGEM * Globe etching (micro etch