椭圆偏振光谱法单晶硅的光学常数.pptVIP

椭圆偏振光谱法测量单晶硅的光学常数 实验目的 掌握椭偏光测量薄膜的厚度和折射率的原理 学会使用椭圆偏振光和分析单晶硅的折射率、消光系数与波长的关系 实验原理 光是一种电磁波，全面描述光波，除了波长、频率和传播方向外，还需要用振幅、相位和偏振方向。偏振方向分为x方向和y方向两个分量。 自然光 光 线偏振光 偏振光 椭圆偏振光 仪器结构及工作原理 实验仪器 * * 绍兴文理学院数理信息学院 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常, 设介质层为n1 n2 n3, φ1为入射角,φ2和φ3是在膜和衬底中的折射角, 那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉 根据多束光干涉公式，可求出总反射系数Rp和Rs 其中， 式中的λ是光在真空中的波长，d是膜厚。 (1) (3) (2) (4) 菲涅耳反射公式 (5) (6) (8) (7) 在椭偏光法中。一般采用ψ和Δ来描述反射时光偏振状态的变化，定义如下， 其中A和β分别为振幅和位相，下标r和i分别表示反射光和入射光。tanΨ是相对振幅衰减，Δ则是相位移动之差。 (9) (10) (11