声明本模板内容是本刊已发表的一篇文章,并非基金项目结7.docVIP

声明：本模板内容是本刊已发表的一篇文章，并非基金项目结题报告。请作者按照模板的框架和格式将结题报告相应内容进行填充和编排，并通过网上投稿系统提交稿件：31/JournalX_zggx/authorLogOn.action?mag_Id=1 项目负责人或研究团队照片 项目负责人个人简介或研究团队介绍 项目负责人介绍： 林景全（1966 -），男，教授，博士生导师，1999年于中科院长春光机所获博士学位，2000年中科院物理所博士后出站。2000-2009年先后在日本产业技术综合研究所、德国慕尼黑大学等单位从事研究工作。目前主持国家自然基金面上项目三项以及国际合作项目一项、国防973子课题一项以及其他省部级科研项目多项。以第一作者或通讯的身份在美国的应用物理快报（Appl. Phys. Lett.）等国外著名的学术杂志上发表论文五十余篇。获得日本专利两项。 研究团队介绍： 课题组所在的超快光学实验室，依托于长春理工大学理学院及长春理工大学国际纳米光子学研究中心，于2009年组建成立，2011年被评为吉林省高强度飞秒激光与物质相互作用优秀团队称号。现有教授2名，副教授1名，讲师1名。研究组内现有博士研究生9名，其中3名为外国留学生；硕士研究生20余名（图1为研究组成员的照片）。近年来主要开展了极紫外光刻用激光等离子体光源、光电子光谱法对光刻掩膜进行缺欠在线检测、相干极紫外辐射、超快纳米