六轴对准系统.PDF

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六轴对准系统 非常适用于光纤校准 H-206  柔性铰链带来高精度  用于光纤光学校准的集成扫描子程序  重复精度0.3 微米  速度达8 毫米/秒  自定义编程虚拟枢轴点  可拆卸磁板 六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,单轴的导向误差却未增加。更高动态,更高可靠性 。 带直流齿轮电机 柔性铰链接头和带被动支撑腿的六足位移台设计 具有最高精度和重复性的定位 应用领域 科研和工业. 用于光纤校准、显微操纵系统、光学检测设备。 11.07.2018 规格 运动和定位 H-206.F2 单位 公差 主动轴 X,Y,Z,θ ,θ ,θ X Y Z X 向上的行程* -8到5.7 毫米 Y 向上的行程* ±5.7 毫米 Z 向上的行程* ±6.7 毫米 θ 向上的行程* ±5.7 ° X θ 向上的行程* ±6.6 ° Y θ 向上的行程* ±5.5 ° Z 促动器设计分辨率 33 纳米 X、Y和Z向上的最小位移 0.5 微米 典型值 θ 、θ 、θ 向上的最小位移 2 (0.4) 微弧度 典型值 X

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