基于犚犆犠犃方法设计的甲醛传感器的研究.PDF

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第 卷第 期 压 电 与 声 光 40 3 Vol.40No.3         年 月 2018 6 PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICS Jun.2018 文章编号: ( ) 10042474201803038906    基于犚犆犠犃方法设计的甲醛传感器的研究 , , , , 12 12 12 12 1 黄子吉 ,白忠臣 ,任哲毅 ,王 宝 ,陆安江   ( 贵州大学 大数据与信息工程学院,贵州 贵阳 ; 贵州省光电子技术及应用重点实验室,贵州 贵阳 ) 1. 5500252. 550025 摘 要:针对日常生活中甲醛损害人们健康的问题,该文采用严格耦合波分析( )法设计了一种能快速、 RCWA      高精度实时检测甲醛溶液浓度的光学传感器。该传感器以多孔二氧化锆( )介孔材料作为甲醛的承载单元, ZrO2 和 光栅分别作为波导层和光耦合层构成的层状复合结构。利用 法计算了该传感器的透射光谱, TiO SiO RCWA 2 2 建立了透射共振峰波长与待测甲醛溶液浓度间的关系模型,并分析了其传感特性。结果表明,该传感器具有较高 的灵敏度和良好的重复稳定性,品质因数 ,灵敏度可达 / ,并可实现对待测甲醛溶液浓度的实 犙=1261 0.101nm % 时动态监测。 关键词:光学传感器;甲醛溶液;严格耦合波分析法( );透射光谱;传感特性 RCWA 中图分类号: ; 文献标识码: : / O439TP212.14 A 犇犗犐10.11977 .issn.10042474.2018.03.020         j 犛狋狌犱 狅狀犉狅狉犿犪犾犱犲犺犱犲犛犲狀狊狅狉犅犪狊犲犱狅狀犚犆犠犃犕犲狋犺狅犱 狔 狔 , , , , 12 12 12 12 1 , , , , 犎犝

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