H2O2.H2sO4微蚀体系介绍.docVIP

H2SO4/H2O2 微蝕體系介紹 目 錄： 微蝕液分類及優缺點比對 微蝕槽H2O2蝕銅反應機構 微蝕槽H2O2裂解反應機構 安定劑抑制H2O2分解反應機構 安定劑抑制H2O2分解----H2O2安定性之評估測試 中間槽H2O2裂解 微蝕槽H2O2裂解 H2O2/H2SO4微蝕體系使用時注意事項 氯離子含量對咬蝕速率影響 鐵離子含量對咬蝕速率影響 H2O2濃度對咬蝕深度之評估 銅離子濃度對咬蝕深度之評估 H2O2/H2SO4微蝕體系品質標準及測試方法 H2O2/H2SO4微蝕體系搭配結晶機之優勢 微蝕液分類及優缺點比對 專案 分類 Na2S2O8+H2SO4 H2SO4+H2O2+安定劑 微蝕品質 良 良 生産成本 高 低（可搭配結晶機） 溶銅量 低25g/l 高60g/l 藥液控制 易 易 品質及藥水穩定性 差 優 廢液處理量 大 小 操作方便性 良 優 藥液特性 有銅鹽生成需用酸洗 對CL-及重金屬較敏感需穩定溫度 周邊設備 需建浴中間槽dosing pump 需建浴中間槽dosing pump需冷卻系統 設備投資成本 低 高 換槽頻率 每班 每季 二、 微蝕槽H2O2蝕銅反應機構 三、微蝕槽H2O2裂解反應機構 四、安定劑抑制H2O2分解反應機構 五、安定劑抑制H2O2分解------H2O2安定性之評估