铁电存储器关键工艺与器件建模分析-modeling and analysis of key processes and devices in ferroelectric memory.docx

phaseinPZTfilmsofMPBpossessesaincreasedpolingefficiency，thusleadingtoahigherremanentpolarizationandlowercoercivefield.Basedonthemicroscopicanalysisofferroelectricfilm,themechanismofferroelectricdomainswitchingunderrandomelectricalfieldwasinterpretedgeometrically.Fromwhich,thedistributionfunctionofcoercivefieldρ(Ec+,Ec-)wasderivated,andpolarizationreversalfunctionwasemployedtodescribethechangeofpolarizationvalueasafunctionofexternalfield.DevicemodelofferroelectriccapacitorandtheapproachtoembeditintoEDAtoolsweredeveloped.Thisproposedmodelcanbeusednotonlytooptimizethecorecircuitofferroelectricdevice,butalsotoanalyzeferroelectricfatigueasaphysicaldiagnostictool.Hydrogenbarriertechnologywasstudied.DifferentetchingschemesforAl2O3contactholesformationwerecompared,andreactiveionetchingwithCHCl3gasshowsthehighestetchingrate.StressmatchingbetweenAl2O3barrierlayerandtheotherdielectriclayerswasestimated.TheeffectofAl2O3filmservesasthehydrogenbarrierlayerusedinferroelectricmemorywasexamined,andaonly30nmAl2O3layerhadshownsignificantimprovementonprotestingferroelectriccapacitorfromforminggasannealing.Keywords:FerroelectricmemoriesMagnetronsputteringPZTthinfilmsMorphotropicphaseboundaryBPOelectrodesFilmstressRietveldFerroelectriccapacitormodelHydrogenbarriertechnology独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密□，在年解密后适用本授权书。本论文属于不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日1绪论人类很早就注意到自然界的电磁现象，对磁性材料的研究和利用也已经持续了几个世纪，但是对于类似于铁磁现象的所谓铁电现象却是从上世纪20年代才开始研究的。1921年，法国人瓦拉塞克(ValasekJ.)首次在罗息盐(Rochellesalt,NaKC4H4O64H2O)里观察到自发极化随外场变化的现象[1,2]，他把这种特性和磁性材料中的磁矩相类比，第一次提出了铁电的概念(Ferroelectrics)。当时的研究者相信铁电现象和化合物中的氢键有关，并尝试着从含氢化合物中寻找其它铁电材料。在接下来将近二十年里，虽然陆续在类似结构的其他化合物中观测到铁电现象，但这一领域并没有引起工业界的广泛重视，仅是作为一种新的物理现象加以研究。一个重要的原因是：罗息盐类材料的铁电性对成份波动异常敏感，难以获得稳定铁电相