半导体气敏传感器用纳米SnO2的制备和表征.docVIP

半导体气敏传感器用纳米SnO2的制备及表征 第一章 绪论 1.1 CNTs和SnO2的研究背景 CNTs具有很多优异而独特的电学、磁学、力学和光学性质，使其在结构增强，纳米电子器件、场发射、储氢、传感器等众多领域得到广泛的应用，成为世界科学研究的热点．CNTs具有中空结构和大的比表面积，对气体有很强的吸附能力，由于吸附的气体分子与CNTs相互作用，因而改变了它的费米能级，进而引起宏观电阻发生较大的改变，通过对电阻变化的测定即可检测气体的成分，因此，CNTs可用来制作气敏传感器． 1.1.1 CNTs的发现和研究应用 自从1991年日本电镜专家lijima意外发现CNTs以来，由于其具有独特的结构和优异的力学、电学、热学、储氢和场发射等性能，可望在场发射显示器件、纳米电子器件、超强度复合材料、储氢材料等诸多领域得到应用。特别是CNTs管径为纳米级，长径比可达1000以上，比表面大且其抗拉强度是钢的10倍，碳纤维的200倍，而密度仅为钢的1/6，具有很好的柔韧性 ，被认为是制备纳米复合材料较理想的增强材料之一。 1.1.2 SnO2的特性和应用前景 纳米SnO2是一种典型的ｎ型半导体材料，其Eg＝3.6 eV（300 K），具有优良的光电性能和气敏性能，在气敏元件、湿敏元件、薄膜电阻器、光电子器件、吸波材料、电极材料及太阳能电池等方面有着广泛的应用前景。SnO2是一种广谱型的气敏材料。当n型半导体SnO2器件放置于空气中时，表面会发生一系列反应，如活性点的吸附反应、催化反应及颗粒边界或三相界面的相反应。氧与水分吸附在半导体表面时，从半导体表面获得电子，形成负电荷。 1.2 SnO2材料在气敏传感器中的应用 在日益发展的现代社会里，工业废气 、汽车尾气 、家庭液化石油气 、煤气 、天然气的使用，不仅严重污染大气，破坏生态环境 ,而且有产生爆炸 、火灾 、使人中毒的危险，危害人类身体健康，因此对各种有害气体的预报 、监测 、报警受到广泛重视。气体传感器正是担负这一要任。由于它使用方便 、操作简单 、精确度高 、灵敏性强 ,在生产生活中发挥着重大作用. 随着科学技术的发展对传感器提出的要求也越来越高。  第二章 纳米SnO2/CNTs复合材料的制备 2.1 SnO2/CNTs复合材料的水热制备过程固体NaOH 固体NaOH 去离子水 NaOH溶液 乙醇 SnCl2醇溶液 多壁CNTs 乙醇：水（2:1）混合溶液 碳纳米管混合溶液 固态SnCl2·2H2O SnCl2和碳纳米管的混合溶液 超声20 min 搅拌10 min 超声10 min SnCl2和碳纳米管的混合溶液 用蠕动泵滴加 SnO2-CNTs浑浊液 放入烘箱（160゜С）进行水热反应 洗涤 SnO2-CNTs沉淀 烘干 SnO2-CNTs粉末（成品） 图2.1水热法制备纳米SnO2/CNTs复合材料的流程图。 图2.1是本实验水热法制备纳米SnO2/CNTs复合材料的流程图。 实验仪器： 电子天平：本实验采用AUW-d.-电子天平称取实验材料。它采用机械组件的密封结构、彻底抑制了过去的天平难以抑制的因风对流而产生的摇晃。即使在通风柜内也能比过去更稳定地使用。只需3秒的快速响应显示，而且回零迅速。实现无需等待的快速测定。?内装“PSC”全自动校准功能（AUW/AUX） 遇有室温变化影响灵敏度时，天平感知室温变化，自动开始校准。?使用定时校准功能，实现稳定的灵敏度。 AUW-d.-电子天平 AUW-d.-电子天平 图2.2 AUW-d.-电子天平 加热磁力搅拌器: 本实验在配制Sn源溶液、碱源溶液、CNTs溶液时采用加热磁力搅拌器进行搅拌。 加热磁力搅拌器 加热磁力搅拌器 图2.3 加热磁力搅拌器 本实验采用KQ2200E型超声波清洗器对CNTs混合液、Sn源溶液和CNTs混合液混合后混合液进行超声。 图2.4 KQ2200E型超声波清洗器 2.2 实验比较得出的比较理想的反应条件 经参考文献和对实验数据的分析对比，优化的实验反应条件为： 采用的CNTs为5 mg的L-MWNTs-1020-COOH型CNTs。 样品的水热反应时间取16 h~18 h。 样品的反应最终pH为10~11。 第三章 纳米SnO2/CNTs复合材料的表征及气敏性能的研究 3.1 SnO2/CNTs复合材料的表征 对SnO2/CNTs复合材料进行X射线光电子能谱（XPS）数据分析、傅氏转换红外线光谱分析（FTIR）数据分析、透射电子显微镜（TEM）数据分析、X射线衍射（XRD）数据分析。 3.2 纳米SnO2/CNTs复合材料的气敏性能的研究 SnO2基气敏传感器因其具有良好的稳定性、能在较低的工作温度下工作、检测气体种类较多等优点而成为众多科学工作者的研究重点，这种气敏传感器