毕业论文基于数据的半导体制造系统投料计划研究.docVIP

北京化工大学毕业设计（论文） PAGE \* MERGEFORMAT I 诚信声明本人声明：我所呈交的本科毕业设计论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。本人签名： 日期：2010 年 06 月 12 日毕业设计（论文）任务书设计（论文）题目： 基于数据的半导体制造系统投料计划研究 学院： 信息学院 专业： 自动化 班级： 自控0606 学生： 毛文鑫 指导教师： 曹政才副教授 专业负责人： 李大字 1．设计（论文）的主要任务及目标学习半导体生产线工艺流程以及近期国内外相关学科的发展情况；学习使用eM-plant软件，建立半导体生产线模型，通过数据挖掘的方法对基本投料策略进行优化，使得到的优化投料策略满足瓶颈设备利用率和生产率两项指标最优的要求。2．设计（论文）的基本要求和内容基于Minifab的半导体生产模型，使用eM-plant软件对基本投料策略进行仿真，把仿真结果作为神经网络学习算法的输入，得到优化的投料策略并与基本投料策略进行对比。3．主要参考文献李莉，乔非，吴启迪. 基于系统动力学的半导体生产线投料策略[J].中国机械工程，2006，17(23)：2507-2511．Glassey C R，Resende M G C. Closed-loop Job Release control for VSI 1 Circuit Manufacturing[J]. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing，1988，1(1)：36-34．曹政才，吴启迪，乔非，王遵彤．基于遗传算法的半导体生产线调度研究进展[J]. 同济大学学报(自然科学版)，2008，36（1）：98-101．吴启迪，乔非，李莉，王遵彤. 半导体制造系统调度[M]．北京：电子工业出版社，2006：200-209．Glassey C R，Resende M G C．A Scheduling Rule for Job Release in Semiconductor Fabrication[J]．Operations Research Letter，1988，7(3)：213-217．施於人，邓易元，蒋维．eM-Plant仿真技术教程[M]．北京：科学出版社，2009：358-387．曹政才，余红霞，乔非． HYPERLINK /view/f2233ad9ad51f01dc281f143.html \t _blank 基于Petri网与遗传算法的半导体生产线建模与优化调度[J]．电子学报，2010 ，32（2）：340-344．WEIN L M. Scheduling semiconductor wafer fabrication[J].IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing，1988，1(3)：115-130．刘民．基于数据的生产过程调度方法研究综述[J]．自动化学报，2009，35(6)：785-807．4．进度安排 设计（论文）各阶段名称 起 止 日 期 1 阅读相关文献，撰写开题报告,完成文献翻译 3.153.31 2 学习神经网络学习算法和eM-plant软件的使用 4.14.10 3 完成基本投料策略的仿真工作 4.104.30 4 使用神经网络学习算法得到优化投料策略，并与基本投料策略对比，用仿真结果来进行验证 5.15.20 5 毕业论文的最后撰写，修改和答辩 5.216.10 摘 要半导体生产线规模庞大、过程复杂、多重入等特征给制造过程的调度决策带来了极大的挑战。投料控制作为半导体生产调度的首要环节对整个生产线的性能起着举足轻重的影响，而传统的投料策略并不能长期适应生产线的实际情况，不能及时有效的对生产线中发生的变化作出调整。基于生产线历史数据和实时数据进行投料策略的现场决策的方法成为研究半导体制造系统投料策略的很有前景的方向。本文基于经典的Minifab模型，利用eM-plant仿真软件对传统的投料策略进行了仿真，并在此基础上，更