S4800电镜SEM操作手册.ppt

Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南 国家纳米科学中心纳米检测实验室 注意！ 本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容，不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度，文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！ S－4800 扫描电镜外观 S－4800 扫描电镜剖面图 S-4800主要技术参数 扫描电镜使用时的安全注意事项 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授权的用户请勿操作电镜。 请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能给电镜造成严重伤害。 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况，请垂询技术员彭开武/郭延军 （ Tel:）。 S－4800扫描电镜的基本操作过程 1、启动操作程序PC－SEM 打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－SEM自动启动，要求输入程序的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。 2、加载样品 1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托（15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样品托上。 注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤干或用吹风机吹干后再插入样品室。 2、加载样品 2）将样品托装在样品架（specimen holder）上 （1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面与样品高度计的下面尽量相平。 注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面伸出来，这样会造成机械故障。 2、加载样品 3）将样品架插入样品室 插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不亮） (b)加速电压处于OFF状态 （1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品插入交换棒中； 2、加载样品 （5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态，然后将交换棒完全拉出； （6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空； （7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换室之间的门（气阀）； （8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架充分地插入样品台的槽中（交换棒推到底）； （9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置，卸下样品，然后将交换棒完全拉出； （10）按CLOSE键，气阀关闭。 3、加高压及条件设定 1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和发射电流。发射电流一般设为10?A 3）加高压 点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后，开始自动加电压 3、加高压及条件设定 4）条件设定 （1）选择图形信号及探测器类型：SE,BSE （2）设定工作距离WD （3）设定高度Z Z与WD密切相关，它们设定的先后顺序并不重要，最终目的是在Z与WD的允许范围内使图像聚焦清楚。为安全起见，本机高度Z应在3mm以上（范围3－30）。 4、调节电子光学系统 加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴或对中(Alignment)。 （1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y 5、观察样品 （1）移动样品可以通过操作面板上的滚动球来实现，在低倍下寻找感兴趣的区域，然后到合适的放大倍数观察和记录图像 （2）亮度和对比度调节