第8讲电子光学基础.pptVIP

第二篇 材料电子显微分析第八章 电 子 光 学 基 础 第一节电子波与电磁透镜 电子波与电磁透镜 眼晴的局限性： 准确性、灵敏性、适应性和精密的分辨能力。 人眼观察物体的粒度极限为0.1mm！ 光学显微镜 可以看到： 细菌、细胞那样小的物体。但光学显微镜超过一定放大率以后就失去了作用，最好的光学显微镜的放大极限是： 2000倍 一、 光学显微镜的分辨率极限 人眼能分辩的最小距离约为: 0.2 mm。 光学显微镜：极限分辩率： 0.2μ m。使人的视力分辩能力足足提高了1000倍。 光学显微镜：用它来观察材料内部的显微组织，以弄清材料组织结构、成分与性能间内在联系，已成为工业生产和科研的常用的工具，发挥着很大的作用。 随着科技的发展，对显微镜分辨率的要求愈来愈高。 光学显微镜：其分辨率已无法满足材料中许多更细微的组织的观察和分析，而这些细微的组织对材料的性能有很大的影响。 一、 光学显微镜的分辨率极限 如： ① 高碳钢的隐晶马氏体精细组织； HD（5Cr8WMo2VSi）刀片用钢淬火后组织， 一、 光学显微镜的分辨率极限 ② 钢淬火后回火过程中的细小碳化物析出； 6CrW2Si钢淬火＋低温回火后组织（回火马氏体＋碳化物） 一、 光学显微镜的分辨率极限 ③ Al-4％Cu合金的时效析出情况： 过饱和固溶体→ G·P（I）区（Cu富集区，约0.2～0.6nm）→ G·P（II）区形成θ″相（Cu进一步偏聚并有序化，厚度约10nm）→过渡相θ′（Cu:Al=1:2）→稳定θ相 （CuAl2）+ α固溶体 。 一、 光学显微镜的分辨率极限 光镜分辩率为何不能再进一步提高呢？ 光镜：用可见光束作照明源，可见波长范围：390～760nm，所产生的衍射现象，使得其分辩本领不能大于可见光的半波长λ/2 约200nm（0.2μ m）的极限。 光的衍射现象又是如何限制光镜的分辩率呢？ 一、 光学显微镜的分辨率极限 2. 埃利（Airy）斑： 即使一个理想的点光源，经透镜成像，因衍射效应，而在像平面上形成一个有一定尺寸的中央亮斑及其周围明暗相间的圆环所组成的衍射花样－－埃利(Airy)斑。 一、 光学显微镜的分辨率极限 3. 埃利斑大小：因光强度84％集中在中央亮斑，常以埃利斑的第一暗环的半径来衡量埃利斑的大小。 由衍射理论推导得，埃利斑半径 R0： 一、 光学显微镜的分辨率极限 4. 光学显微镜的分辨率 物体可视为由许多物点组成，每物点为一个“点光源”，经透镜后，在像平面上形成各自埃利斑像。 一、 光学显微镜的分辨率极限 一、 光学显微镜的分辨率极限 c. 瑞利（Rayleigh）分辩两Airy斑像的判据： 当两 Airy 斑中心间距等于第一暗环半径R0，两物点刚能被分辨。此时，两Airy 斑叠加中央峰间叠加强度比中央峰最大强度低19％时， 一、 光学显微镜的分辨率极限 由此可得，透镜的分辩本领： 一、 光学显微镜的分辨率极限 上式说明： 透镜分辨率：即能分辩两点间的最小距离，主要取决于照明光波长，半波长为光学玻璃透镜分辩本领的理论极限。 可见光：波长：390～760nm，若取最小值400nm，则光镜极限分辨本领为200n（0.2μm）。 紫外线：波长更短（13～ 390 nm），但大多物质均强烈吸收紫外线，可供照明只限于200～ 250 nm，则其分辨率可达100nm（0.1μm）。 X射线：波长很短（0.05～10nm），但无法使其折射成像，故须寻找一种新光源。 二、电子波的波长（1） 1924年11月，法国著名理论物理学家路易斯-维克多·德布罗意（Louls-Victor de Broglie 1892-1987）鉴于光的波粒二象性，在他的博士论文《量子理论的研究》中提出著名的物质波理论。 他认为：任何微观运动着的粒子，在一定的条件下也会显示出波动性，即任一匀速运动的微观粒子都有一个波与之对应，且不可能将物体的运动和波的传播分开。 并且，发现了电子波的波长比可见光短十万倍。这使人们想到电子束可作为新光源的可能性。 法国著名理论物理学家－德布罗意 路易斯-维克多·德布罗意（Louls-Victor de Broglie 1892-1987）：1892年2月15日生于法国一贵族家庭。 1910年，获巴黎大学文学学士学位，后转向理论物理学。1913年，又获理学士学位。 1926年， Busch指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦，在此基础上，1933年Ruska等设计并制造了第一台透射电子显微镜（分辨率达0.1nm,显纳镜）。从而，从本质上提高了放大倍数。 二、电子波的波长（2） 那么，电子束的波长是不是很短？ 根据德布罗意公式