RTS-8型四探针测试仪用户手册(002).pdf

RTS-8 四探针测试仪用户手册 RTS-8型四探针测试仪用户手册 目 录 1. 概述1 2. 技术指标 1 3. 测量原 理简介 2 4. 仪器面 板说明 4 5. 使用方 法6 6. 关于低 阻测量 8 7. 关于高 阻测量 8 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：020登陆:http// - 1 - RTS-8 四探针测试仪用户手册 1.概述 RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理 测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层 电阻)的专用仪器。 仪器由主机、探针测试台、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可 与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据 在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在 电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各 种数据分析。 仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、 稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。 本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。 2.技术指标 2.1 测量范围 -4 5 电阻率：10 －10 Ω.cm； -3 6 方块电阻：10 －10 Ω/□； -4 5 电阻：10 －10 Ω； 可测晶片直径：140mmX150mm（配 S-2A型 测试台）； Φ200mm（配 S-2B型 测试台）； 400mmX500mm（配 S-2C型 测试台）； 2.2 恒流源 电流量程分为 1μA,10μA，100μA，1mA, 10mA, 100mA 六档，各档电流连续可调。 2.3 数字电压表 量程及表示形式：000.00－199.99 mV； 分辨力：10 μV ； 输入阻抗：＞ 1000 MΩ； 精度：±0.1%； 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 2.4 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000 MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm； 探针压力：5-16 牛顿（总力）； 2.5 四探针探头应用参数 - 1 - RTS-8 四探针测试仪用户手册 （见探头附带的合格证） 2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-8