原创力文档- 1、本文档共10页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
2013/3/4
MEMS设计与工艺 主要内容
——材料 基本知识
工程材料选用的技术经济原则
材料学基础
石云波 MEMS材料
硅材料
先进制造中心402，3557569（O） 其他材料
shiyunbo@
1
工程材料选用的技术经济原则 一般机械零件失效形式
使用性能选材原则 断裂失效：
力学性能：
过度变形失效：
化学性能
物理性能 表面损伤失效：腐蚀失效、磨损失效
其它功能：
工艺性能选材原则
加工工艺性为主
经济性选材原则
成本效益分析
单位成本分析
材料价值分析
产品功能
使用性能要求的简单分类 改变功能 国外
确定令部件功能 引进
知识、经验
分类 典型性能 用途举例 专家系统 初步设计 加工/测试
设备
力学性能 强度 机械装置、承载结构零件、护罩等 确定所需材料性能（指标）
材 使用性能
韧性 料 工艺性能 研制
原 现有材料是否适用 新材料
刚性 始
经济性
性
化学性
文档评论（0）