TΩ级绝缘[物理]电阻测试方法.pdf

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  高阻测试指南 j 部门: 研发部 文献类别 技术文献 日期: 2012-06-10 编号: HP201 CHT3530采用加电压测电流的方法,电压输出1mV~1000V DC,源内阻100kΩ。 15 电阻测量范围达 10Ω~10 Ω,电流测试范围2mA~1pA,可有效有小分辨至10fA。 测量功能还包括各种:表面绝缘电阻测试、绝缘材料和半导体的表面电阻率测量以 及体积电阻率测量等。 量程 有效分辨率 精度±(%+分辨率)温度系数 (ppm/℃) 2 mA  0.1uA  0.1+5  25  200 uA  10nA  0.1+5  25  20 uA  1nA  0.1+5  25  2 uA  0.1nA  0.1+10  50  200 nA  10pA  0.1 +10  50  20 nA  1pA  0.3+20  200  1 nA  0.01pA  5+20  200  量程 有 效 分 辨 精度±(%+分辨率) 温度系数 ppm/℃ 测 试 率 电压 10 kΩ  1 Ω  0.1+5  25  50 V  100 kΩ  10 Ω  0.1+5  25  50 V  1 MΩ  100 Ω  0.1+5  25  50 V  10 MΩ  1 kΩ  0.1+5  50  50 V  0.1GΩ  10 kΩ  0.1 +5  50  50 V  1 GΩ  100 kΩ  0.1+10  50  500 V  10 GΩ  1 MΩ  0.35+20  50  500 V  100GΩ  10 MΩ  0.35 +20  200  500 V  1TΩ  10 GΩ  2+100  200  1000 V  10TΩ  100

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