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No. 错误现象 解决方法需要在Hennecke工程师培训下完成
11,检查显示测量值为0的是哪一个模块,然后在路由器KVM显示转换界面上打开这个模块的显
11
示器,先进行软件重启 (关闭该模块的软件窗口,软件会再次自动启动),如果无效就重启该
故障模块电脑系统 (进入该电脑XP关闭计算机界面重启系统)。
22 ,如果还是无效,需要重启Measuring server软件,关闭Measuring server后自动重启。
22
33 ,如果无效,先在PLC主操作界面点击stop停机,然后关闭主电源红色圆形开关-逆时针旋主
33
电源开关到Off,5秒后再顺时针旋转到On-PLC需要重启-点击Acknowledge-点击Controller
On-系统恢复正常。
44 ,如果还是无效,需要检查该模块的CCD(E+H模块需要检查白色控制柜)的状态,此时需要
44
关闭所有电脑然后关闭UPS给这些设备断电重启。如果是专业人员,可以直接检查该模块CCD的
电源接插口,并且进行热插拔重启。E+H模块的电源重启如下图所示,开关电源开关可以重启
E+H系统。 55 ,如果E+H的厚度测量值在重启控制系统电源后还是异常,检查
55
E+H的白色传感器里面有没有碎片,用压缩空气吹扫一下,然后再用厚度校准片校准一下。
66, 如果故障依旧,需要先停掉皮带,然后再E+H模块中放一张硅片,然后在Measuring server中
66
点击点击--第一行第一行ThicknessThickness--点击点击MeasuringMeasuring,,察看有没有测量数据察看有没有测量数据,,如果有数据如果有数据,,说明设定延时说明设定延时
发生错误,需要在Extra-options-station-station中间进行Thickness的延时修改,
Lifetime的类似故障依此类推,其他模块可以根据察看照片中硅片的有无和位置来判断。
主服务器的Mea
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