光栅的电子细分原和方法.docVIP

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光栅的电子细分原和方法

§ 7-3 光栅的电子细分 细分的原理和方法 1、原理:在忽略高次谐波的情况下,光电元件输出的电压U和光栅位移x之间的关系为 其中为光栅移动速度,d为栅距,U为电压幅值。 可见:,。 对位相进行n细分,实质上是对测量值x进行n细分。 (特别是,时,即对一个莫尔条纹n细分) 2、细分原理分类:(P89表7-3) 从波形分析方法入手,分为五类:幅值分割、周期测量、角频率倍增(倍频)、移项、函数变换。 (1)幅值分割法,就是对进行非线性分割,得。 (2)周期测量法,就是测时间的t,,测t得,得x。 (3)倍频法,就是增加角频率,用新的周期来反映x。 (4)移项法,得一系列相位差的正弦信号,编码,得n倍频。 (5)函数法,是变成别的函数n细分。 3、方法分类P90表7-4(9种) 二、直接的细分法(四倍频法) (一)四相信号的获得。 目的:为了消除莫尔条纹信号的直流分量和判向,需要四个相位差的谐波信号:; ; ;。 θ123 θ 1 2 3 4 θ θ θ 3600 -sinθ cosθ sinθ -cosθ 图7-3-1 1) 阵列光电元件法: 在一个莫尔条纹内均匀放置4个光电探测器,使它们各占条纹宽度的。 图7-3-2 四分透镜读数头1.聚光镜 2.指示光栅 3.四分透镜 4.狭缝 5.光电二极管 图7-3-2 四分透镜读数头 1.聚光镜 2.指示光栅 3.四分透镜 4.狭缝 5.光电二极管 图7-3-3 四极硅光电池 图7-3-3 四极硅光电池 缺点:每个信号的光强都只有一个条纹光强的。 2)裂相指示光栅法 n个光电元件,获得n相光电信号 n,k是整数。 裂相指示光栅 主光栅 裂相指示光栅 主光栅 光电探测器 相对静止 X 1 2 3 4 图7-3-4 裂相指示光栅的布置 (二)四倍频法 1、原理框图: 数显输出正 反向计 数编 数显输出 正 反 向 计 数 编 码 计 数 脉 冲 形 成 四 相 取 样 光电信号 2、计数电路工作过程 运算运算运算 运算 运算 运算 运算 + - + - - + + - DG1 DG3 DG2 DG4 Sinθ -Sinθ Cosθ -Cosθ 鉴零器 微分 t1 p1 2Sinθ 鉴零器 微分 t3 p3 -2Sinθ 鉴零器 微分 t2 p2 2Cosθ 鉴零器 微分 t4 p4 -2Cosθ 方波 尖脉冲 图7-3-5 工作过程: = 1 \* GB3 ① 4个相位差,含直流成份的光电信号,,,经4个运放差分放大,消去直流。 = 2 \* GB3 ② ,,,经鉴零器整形成方波,为编码提供判向信号,,,(即)。 = 3 \* GB3 ③ 经过微分电路输出尖脉冲,作为编码电路计数信号。 3、编码电路工作过程(目的:判向、计数) = 1 \* GB3 ① 逻辑图: ++触 + + 触 发 器 + p1 t1 p4 t2 t3 p2 t4 p3 t1 p2 t2 p3 t3 p4 t4 p1 Q— 减法脉冲 Q+ 加法脉冲 Q主脉冲 (送可逆计数器) 可逆计数器加减法控制线上控制电位 7453、7454(14脚) 图7-3-6 = 2 \* GB3 ② 编码逻辑表达式: , 。 = 3 \* GB3 ③ 波形图: 图7-3-7 图7-3-7 三、移相电阻链法(移相原理) 计数电路移相电路 = 1 \* GB3 计 数 电 路 移 相 电 路 编码电路四sinθ 编 码 电 路 四sinθ 计数脉冲 路cosθ 计数脉冲 …… 信-sinθ …… 号-cosθ = 2 \* GB3 ② 移相原理:(串联电路、并联电路两种) 以串联为例: EBAR1 R2 R3 R4 R5 R6 R7 R8uk E B A R1

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