铁电超晶格-NTHUMSE.DOC

分項計畫3：「 鐵電超晶格」期中進度報告??????????????? 子計畫主持人:賴志煌助理教授 賴志煌助理教授（C. H. Lai）? 研究生：吳允中 La1-xCaxMnO3之研究 ? ? ◎ Total pressure：15 mTorr ? ◎ rf power：70 W ? ◎ O2/Ar ratio：0.2 Substrate temperature 550℃ 600℃ 650℃ 經由一連串的實驗我們發現，基板溫度必須要高於550℃，濺鍍出來的薄膜才會成為結晶態，基板溫度低於550℃著，成長出來的薄膜皆為非晶態。基板溫度越高，濺鍍出來的薄膜結晶性也越佳。從XRD θ-2θ掃描來看，隨著鍍膜時基板溫度的升高，La1-xCaxMnO3（001）、（002）繞射峰的相對強度也有增強的趨勢。因此在越高的溫度鍍膜，我們可以得到C軸取向越佳的薄膜。 接著我們量測在不同的基板溫度下濺鍍的La1-xCaxMnO3薄膜，電阻率對溫度作圖。我們可以很清楚的觀察到，隨著溫度降低，La1-xCaxMnO3薄膜的電阻率呈現遞增的趨勢（dρ/dT＜0），是屬於絕緣體的導電行為，電阻溫度係數（TCR）為負值。 ? 　 ? ? ?我們發現隨著基板溫度升高，薄膜的電阻率呈現下降的趨勢。室溫時三個試片的電阻率分別為：（550℃ 12.35Ωcm）；（650℃ 1.10Ωcm）；（700℃ 0.79Ωc