微纳米测量的技术实验指导书.pdfVIP

机械工程学科应用型研究生综合实验 实验指导书 （微纳米测量技术分册） 王景贺 主编 赵学增 主审 机电工程学院 2013 年1 月 实 验 指 导 书 目 录 实验一 超精密加工表面的微观形貌检测 1 实验 1.1 非球面测量系统认知实验 1 实验 1.2 非接触白光干涉仪认知实验 3 实验 1.3 原子力显微镜 5 实验二 超精密加工表面的机械力学特性检测20 千万不要删除行尾的分节符，此行不会被打印。在目录上点右键“更新域”，然后 “更新整个目录”。打印前，不要忘记把上面“Abstract ”这一行后加一空行 实 验 指 导 书 实验一 超精密加工表面的微观形貌检测 实验1.1 非球面测量系统认知实验 一、实验目的 了解非球面测量系统的基本构造及工作原理，明确仪器的适用范围。 二、仪器概述 Form Talysurf PGI 1240 非球面测量系统，如图 1- 1 所示，是由英国 Taylor Hobson 公司研发的高测量精度仪器，其纵向分辨率达到了亚纳米级，可用于通用 测量、轴承测量和光学非球面测量，借助该公司自行开发的基于 PC 的测量数据分 析软件 µltra Windows®可完成非球面形状参数和粗糙度参数的分析等。该测量系统 的主要性能参数，详见表1- 1。 立柱 X 向运动 驱动箱 打印机 触针传感器 被测样品 运动控制杆 工作台 控制柜 （内有 基座 控制器及计算 机主机） 图1- 1 Form Talysurf PGI 1240 轮廓仪 表 1- 1 Form Talysurf PGI 1240 相关性能参数 性能名称 内容/数值 类型 位相光栅干涉 最大行程 200 mm X 轴最小采样间距 0.125 µm 水平方向 X 轴直线度 110 nm/200 mm 性能参数 测量速度 0.1~2 .0 mm/s 取样间距 0.125 µm /0.25 µm /1.0 µm 传感器最大测量范围 12.5 mm 竖直方向 传感器分辨率 0.8 nm 性能参数 测量力 1mN(60mm 测杆) ；20mN （120mm 测杆） Z 轴非线性度 0.07um + 0.03Zum (mm)