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第十一章电子探针X射线显微分析 概述 显微分析特点 构造与工作原理 样品制备 分析方法 一、概述 电子探针是电子探针X 射线显微分析仪的简称，英文缩写为EPMA (Electronprobe X-ray microanalyser) 。 电子探针仪是一种微区成分分析仪器，它利用被聚焦成小于1?m的高速电子束轰击样品表面，由X射线波谱仪或能谱仪检测从试样表面有限深度和侧向扩展的微区体积内产生的特征X射线的波长和强度，得到微区的定性或定量的化学成分。 电子探针分析的基本原理早在1913 年就被Moseley 发现，但直到1949 年，法国的Castaing才用透射电镜（TEM）改装成一台电子探针样机。 1955 年Castaing 在法国物理学会的一次会议上，展出了电子探针的原形机，1956 年由法国CAMECA公司制成商品，1958 年第一台电子探针装进了国际镍公司的研究室中。 扫描型电子探针商品是1960年问世。70 年代开始，电子探针和扫描电镜的功能组合为一体，同时应用电子计算机控制分析过程和进行数据处理。 二、电子探针显微分析特点 1. 显微结构分析 2. 元素分析范围广 3. 定量分析准确度高 4. 不损坏试样、分析速度快 5. 微区离子迁移研究 三、电子探针仪的构造和工作原理 1、电子探针分析的基本原理 1）定性分析的基本原理 2）定量分析的基本原理 1）定