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第二章 透射电子显微镜 §2－1 透射电镜成像原理 1、透射电镜成像原理 光源 中间象 物镜 试样 聚光镜 目镜 毛玻璃 电子抢 聚光镜 样品 物镜 第一次像 投影镜 观察屏 （a）高放大像 （b）衍射花样 样品 物镜 衍射花样 第一次像 中间镜 第二次像 投影镜 选区光阑 物镜光阑 照 明 系 统 示 意 图 阴极（接 负高压） 控制极（比阴极 负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 §2－2透射电镜结构 1、透射电镜三部分组成 A 光学成像系统 　　整个电子光学部分完全置于镜筒之内，自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、 物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统。 B 真空系统 电子显微镜镜筒必须具有高真空，若镜筒中存在气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝受氧化而烧断；高速电子与气体分子碰撞而散射,降低成像衬度及污染样品; C 电气系统 主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳流电源；电气控制电路。 * ??? 日本日立公司H－700 电子显微镜，配有双倾台 ，并带有7010扫描附件和 EDAX9100能谱。 分 辨 率：0.34nm 加速电压：75KV－200KV放大倍数：25万倍能 谱 仪：EDAX－9100扫描附件：S7010 　 * CM200-FEG场发射枪电镜 JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? 加速电压20KV、40KV、80KV、 160KV、200KV可连续设置加速电压热场发射枪晶格分辨率 1.4?点分辨率 2.4?最小电子束直径1nm能量分辨率约1ev倾转角度α=±20度?? ?????β=±25度 * JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? EM420透射电子显微镜 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度????? ??β=±30度 * Philips CM12透射电镜 加速电压20KV、40KV、60KV、80KV 、100KV、120KVLaB6或W灯丝晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm；倾转角度α=±20度??????? β=±25度 CEISS902电镜 加速电压50KV、80KVW灯丝顶插式样品台能量分辨率1.5ev倾转角度α=±60度???????转动4000 * JEM-2010透射电镜 加速电压200KVLaB6灯丝点分辨率 1.94? EM420透射电子显微镜 加速电压20KV、40KV、60KV、 80KV、100KV、120KV晶格分辨率 2.04?点分辨率 3.4?最小电子束直径约2nm倾转角度α=±60度????? ??β=±30度 §2－3 透射电镜技术指标 1、点分辨率 定义：两粒子之间的最小间隙。 方法：Au真空蒸发镀膜。 2、晶格分辨率 定义：能分清两晶面的最小间距。 方法：利用定向单晶薄膜做标样，利用晶格衍衬像测定。 3、放大倍数 定义：像平面与物平面距离之比。 方法：利用光栅测定。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *