真空电子显微量测仪(.docVIP

真空電子顯微量測儀( SEM ) 儀器介紹 SEM工作原理: SEM主要構造示意圖如圖一與圖二所示。電子槍利用電源加熱鎢絲燈（Tungsten Filament）上，燈絲所放出之熱電子射出，再由約0.2 ~ 40 kV的電壓加速，進而產生電子束。產生細小之電子束經過電磁透鏡系統，形成直徑極小之電子探束（Electron Probe）而後照射在試樣表面。 圖二、圖一、 圖二、 圖一、 圖三、電子束在試樣上掃描照射，產生各種不同訊號，包括入射電子（Incident Electron）、二次電子（Secondary Electron）、背向散射電子（Backscattered Electron）、穿透電子（Transmission Electron）、陰極螢光（Cathode luminescence）、X-ray及歐傑電子（Auger Electron）等。圖三為各種訊號與解析度之示意圖。 圖三、 訊號產生的量，隨著試片表面被照射位置的形狀、性質等發生變化，以適當的偵測器（Detector）收集訊號，再經處理即可得到各種訊號之影像。經常用於掃描式顯微鏡上之偵測器包括二次電子偵測器（Secondary Electron Detector）、背向散射電子偵測器（Backscattered Electron Detector）及X光光譜儀（X-ray Spectrometer）。而二次電子