第一节 传感器技术在电力设备在线检测中的运用第3部分.pdf

1.4 电力设备检测中的化学传感器 1.4 电力设备检测中的化学传感器 1.4.1 气敏传感器 1.4.1 气敏传感器 气敏传感器是一种将检测到的气体成分和浓度转 气敏传感器是一种将检测到的气体成分和浓度转 换为电信号的传感器，根据这些电信号的强弱就可以 换为电信号的传感器，根据这些电信号的强弱就可以 获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息，从而 获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息，从而 可以进行检测、监控、报警，还可以通过接口电路与 可以进行检测、监控、报警，还可以通过接口电路与 计算机或单片机组成自动检测、控制和报警系统。 计算机或单片机组成自动检测、控制和报警系统。 由于气敏传感器是暴露在检测现场使用，工作条 由于气敏传感器是暴露在检测现场使用，工作条 件比较恶劣，温度、湿度的变化很大，又存在大量粉 件比较恶劣，温度、湿度的变化很大，又存在大量粉 尘和油雾等，气体对传感元件的材料会产生化学反应 尘和油雾等，气体对传感元件的材料会产生化学反应 物，附着在元件表面，往往会使其性能变差，因此要 物，附着在元件表面，往往会使其性能变差，因此要 求气敏传感器的性能必须满足下列条件： 求气敏传感器的性能必须满足下列条件： 电力传感与检测技术 (1) 能够检测易爆炸气体的允许浓度、有害气体的允 (1) 能够检测易爆炸气体的允许浓度、有害气体的允 许浓度和其他基准设定浓度，并能及时给出报警 许浓度和其他基准设定浓度，并能及时给出报警 、显示和控制信号。 、显示和控制信号。 (2) 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感。 (2) 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感。 (3) 性能长期稳定性好、重复性好、动态特性好、响 (3) 性能长期稳定性好、重复性好、动态特性好、响 应迅速。 应迅速。 (4) 使用、维护方便，价格便宜等。 (4) 使用、维护方便，价格便宜等。 由于半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应快 由于半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应快 、使用寿命长和成本低等优点，应用很广，因此 、使用寿命长和成本低等优点，应用很广，因此 本节将着重介绍半导体气敏传感器。 本节将着重介绍半导体气敏传感器。 电力传感与检测技术 1.半导体气敏传感器 1.半导体气敏传感器 （1 ）半导体气敏传感器的分类 （1 ）半导体气敏传感器的分类 半导体气敏传感器包括用氧化物半导体陶瓷材料作为敏 半导体气敏传感器包括用氧化物半导体陶瓷材料作为敏 感元件制作的气敏传感器以及用单晶半导体器件制作的气 感元件制作的气敏传感器以及用单晶半导体器件制作的气 敏传感器，分类如表1-2所示。 敏传感器，分类如表1-2所示。 按照半导体变化的物理特征，可分为电阻型和非电阻 按照半导体变化的物理特征，可分为电阻型和非电阻 型两类。前者是利用敏感元件吸附气体后电阻值随着被测 型两类。前者是利用敏感元件吸附气体后电阻值随着被测 气体的浓度改变来检测气体的浓度或成分；后者是利用二 气体的浓度改变来检测气体的浓度或成分；后者是利用二 极管伏安特性和场效应管的阈值电压变化来检测被测气体 极管伏安特性和场效应管的阈值电压变化来检测被测气体 。 。 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导 体表面或深入到半导体内部，又可分为表面电阻控制型和 体表面或深入到半导体内部，又可分为表面电阻控制型和 体电阻控制型。前者当半导体表面吸附气体后，使半导体 体电阻控制型。前者当半导体表面吸附气体后，使半导体 电力传感与检测技术 的载流子增多或减小来引起半导体电导率变化，但内 的载流子增多或减小来引起半导体电导率变化，但内 部化学组成不变；后者当半导体与气体发生反应后 部化学组成不变；后者当半导体与气体发生反应后 ，使半导体晶格发生变化而引起电导率改变。