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静电防护指南
(ESD 工程师培训)
目录
第一篇 静电产生及对电子生产制造
业的影响
第二篇 静电防护原理
第三篇 电子生产使用环境中的防静电
系统构成
第四篇 静电敏感器件生产与操作系统
管理
第五篇 电子产品制造与应用系统防静
电检测
第六篇 美国静电放电(ESD)协会标准
ANSI/ESD S20.20-1999讲解
第一篇 静电产生及对电子生产制造
业的不良影响
第1节 静电产生与静电效应
(1)静电荷产生的电场力
(2)静电放电(ESD)
(3)静电感应
(4)摩擦起电序列
正(+) 人手
玻璃
人发
尼龙
羊毛
丝绸
纸
棉布
木板
硬橡胶
醋酸人造纤维
聚酯
明胶
聚氨酯
聚乙烯
硅
负(-) 聚四氟乙烯
第2节 静电对电子生产制造业的危害
(1)吸附尘埃
尘埃粒度与IC芯片间距的比较
(2)静电放电
(3)静电感应
(4)静电对电子工业造成损害的典型事例
第3节 静电放电敏感器件
表1-1静电放电敏感器件分级表
1级:敏感电压范围0~1999V
元 器 件 类 型
微波器件( 肖特基势垒二极管、点接触二极管和其他工作频率大于1GHZ的检测二极管
离散型MOS场效应晶体管
声表面波(SAW)器件
结型场效应晶体管(JEETs)
电荷耦合器件(CCDs)
精密稳压二极管(线或加载电压稳定(0.5%))
运算放大器(OP AMPs)
薄膜电阻器
集成电路
使用1级元器件的混合电路
超高速集成电路(VHSIC)
环境温度100℃时,IO0.175A的晶体闸流管(SCRs)
2级:敏感电压范围2000~3999V
元 器 件 类 型
离散型MOS场效应晶体管
结型场效应晶体管(JEETs)
运算放大器(OP AMPs)
集成电路(ICs)
超高速集成电路(VHSIC)
精密电阻网络(R2)
使用2级元器件的混合电路
低功率双级型晶体管,Ptot≤100mW,Ic<100mA
3级:敏感电压范围4000~15999V
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