天合光能PEVD经典培训.pptxVIP

1 PECVD简介 保密 2 利用太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的重要途径之一。目前，80%以上的太阳能电池是由晶体硅材料制备而成的，制备高效率、低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义。镀膜(PECVD)是制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤之一. 保密 概述 3 PECVD 简介 PECVD的定义、原理、作用 PECVD对电性能影响 PECVD的钝化作用 PECVD设备结构 异常处理规范 产生线性微波源的机理 PECVD的减反射作用(最佳光学匹配) 4 定义: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积 原理: PECVD是借助微波使含有薄膜组成原子(Si、N)的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的SixNy薄膜。 反应式如下：SiH4 ＋ NH3 ----SixNyHz PECVD的定义、原理 5 PECVD作用： 　 　　 SixNy之所以被广泛应用是因为它具有独特的无可比拟的优点 : 1.介电常数高 ,其值为 8 F·m-1,而二氧化硅或二氧化钛的均为 3.9 F·m-1; 2.碱离子 (如 Na +)的阻挡能力强 ,并具有捕获 N